硅片堿液清洗機(jī)技術(shù)方案

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1、 硅片堿液清洗設(shè)備技術(shù)方案書 編 制 審 核 原料加工部： 綜合計(jì)劃部： 安環(huán)部： 會 簽 質(zhì)量檢驗(yàn)部： 人事行政部： 財(cái)務(wù)部： 批 準(zhǔn) 日 期 年 月 日 呼和浩特市歐通能源科技有限公司 目 錄 一、

2、系統(tǒng)要求： 3 二、清洗原理 3 三、設(shè)備結(jié)構(gòu)組成 3 四、流程總述 4 五、清洗工藝流程 4 六、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù) 5 1、熱水壓力噴淋清洗工位 5 2、堿液刷洗工位 5 3、壓力噴淋漂洗工位 5 4、吸水輥吸水工位 6 5、風(fēng)刀切液工位 6 七、系統(tǒng)描述 6 1、上、下料裝置 6 2、熱水壓力噴淋清洗工位、壓力噴淋漂洗工位 6 3、堿液刷洗工位 7 4、吸水輥吸水工位 7 5、風(fēng)刀切液工位 7 八、安全防護(hù) 7

3、九、清潔要求 7 十、整機(jī)參數(shù)： 7 十一、設(shè)備配送技術(shù)資料： 7 十二、售后服務(wù)： 8 一、系統(tǒng)要求： a) 清洗對象：硅片； b) 線速度： 0-4 米 / 分； c) 清洗介質(zhì)：自來水、堿性硅片清洗劑； d) 產(chǎn)量： 2 噸/8 小時 二、清洗原理 采用托輥雙動力輸送，上壓輥利用機(jī)械高速輥刷法加堿性清洗劑將硅片上下表面的油墨 及雜質(zhì)去除，然后利用高壓水噴洗硅片表面， 將硅片表面殘留的雜質(zhì)及堿性清洗劑沖洗干凈。 三、設(shè)備結(jié)構(gòu)組成 該設(shè)備至少由

4、上料工位、熱水壓力噴淋清洗工位、堿液刷洗工位、壓力噴淋漂洗工位、 吸水輥吸水工位、風(fēng)刀切液工位、下料工位、加熱溫控系統(tǒng)、托輥輸送系統(tǒng)、壓輥定位系統(tǒng)、 儲液槽、無紡布過濾系統(tǒng)、機(jī)體框架及電氣控制系統(tǒng)等組成。 示意圖如下： 四、流程總述 首先人工將硅片擺在上料工位，由托輥輸送系統(tǒng)將硅片輸送至設(shè)備內(nèi)部，在托輥和定位 輥的輸送下依次進(jìn)入熱水壓力噴淋清洗工位、堿液刷洗工位、壓力噴淋漂洗工位，硅片漂洗 完成后通過

5、吸水輥工位將硅片表面大部分的水分吸走，然后由托輥輸入風(fēng)刀切液工位，風(fēng)刀 切液工位將硅片表面殘留的水氣吹干，最后由托輥輸送至下料工位的滑板上，硅片自動掉入 下一工序的上料位。至此完成一個完整的清洗烘干流程。 五、清洗工藝流程 上料工位→熱水壓力噴淋清洗工位→堿液刷洗工位→壓力噴淋漂洗工位→吸水輥吸水工 位→風(fēng)刀切液工位→下料工位 序號 工序 有效尺寸約 清洗方式 溫度控制 清洗介質(zhì) 傳送方式 1 上料工位 L500×W600mm ---- ---- ---- 人工上料 2 熱水壓力噴 L420×W600m

6、m 高壓噴淋 40-50 ℃ 自來水 托輥傳輸 淋清洗工位 3 堿液刷洗工 L1400× 毛刷刷洗40-50 ℃ 市水 +堿性 托輥傳輸 位 W600mm 清洗劑 4 壓力噴淋漂 L420×W600mm 高壓噴淋 常溫 市水 托輥傳輸 洗工位 5 吸水輥吸水 ---- ---- ---- 托輥傳輸 L350×W600mm 工位 6 風(fēng)刀切液工 ---- ---- ---- 托輥傳輸 L500×W600mm 位 7 下料工位L

7、200×W600mm ---- ---- ---- 滑板下料 六、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù) 1、熱水壓力噴淋清洗工位 有效尺寸 約 L420mm× W600mm； 材 質(zhì) 采用非金屬材料，如 PVC材質(zhì)，厚度 10mm； 上下各設(shè)三道噴淋裝置； 結(jié)構(gòu)形式 配儲液槽一個，噴淋泵一臺，噴淋泵功率 1.5KW，儲液槽上方配無紡 布用于攔截雜質(zhì)； 工件通過的上方設(shè)壓輥定位系統(tǒng)； 溫度控制 儲液槽內(nèi)置加熱管，加熱功率約 6KW，加熱溫度約 50℃左右； 儲液槽中的市水由循環(huán)泵分別注入三道

8、噴淋裝置，噴淋后的水溶液經(jīng) 液體流向 過無紡布過濾后流回儲液槽； 2、堿液刷洗工位 有效尺寸 約 L1400mm×W600mm； 材 質(zhì) 槽體采用非金屬材料，如 PVC材質(zhì)，厚度 10mm； 設(shè)上下兩道刷洗裝置，共 4 組刷輥，每組刷輥電機(jī)功率 1.5KW； 結(jié)構(gòu)形式 配儲液槽一個，循環(huán)泵一臺，循環(huán)泵功率 1.5KW，儲液槽上方配無紡布用于 攔截雜質(zhì)； 工件通過上方設(shè)壓輥定位系統(tǒng)； 溫度控制 儲液槽內(nèi)設(shè)加熱管，加熱功率約 6KW，加熱溫度 40-50 ℃； 儲液槽中的清洗液經(jīng)循環(huán)

9、泵抽取進(jìn)入堿液刷洗工位，堿液刷洗工位中的液 液體流向 體經(jīng)無紡布過濾后流回儲液槽； 3、壓力噴淋漂洗工位 有效尺寸 約 L420mm× W600mm； 材 質(zhì) 采用非金屬材料，如 PVC材質(zhì)，厚度 10mm； 上下各設(shè)三道噴淋裝置； 配儲液槽一個，噴淋泵一臺，噴淋泵功率 1.5KW，儲液槽上方配無紡布用于 結(jié)構(gòu)形式 攔截雜質(zhì)； 工件通過的上方設(shè)壓輥定位系統(tǒng)； 自來水直接注入第三道噴淋裝置，經(jīng)第三道噴淋后的水溶液經(jīng)無紡布過濾后 直接流進(jìn)儲液槽，儲液槽中的水溶液由循環(huán)泵抽取后分別注入第一道和第二 液體流向

10、道噴淋裝置，第一道和第二道噴淋后的水溶液由無紡布過濾后流回儲液槽；儲液槽中多余的水溶液通過溢流口直接排進(jìn)廢液管道。 4、吸水輥吸水工位 有效尺寸 約 L350×W600mm； 材 質(zhì) 采用非金屬材料，如 PVC材質(zhì)，厚度 10mm； 結(jié)構(gòu)形式 共設(shè)三道吸水輥； 5、風(fēng)刀切液工位 有效尺寸 約 L500×W600mm； 材 質(zhì) 采用非金屬材料，如 PVC材質(zhì)，厚度 10mm； 封閉風(fēng)刀室，高壓風(fēng)刀切液工位，上下風(fēng)刀吹水，槽內(nèi)設(shè)導(dǎo)風(fēng)板，底部設(shè)集 結(jié)構(gòu)形式 水盤，收集切下的清洗液； 風(fēng)機(jī) 配

11、風(fēng)機(jī) 1 臺，風(fēng)機(jī)功率 4KW； 七、系統(tǒng)描述 1、上、下料裝置 上料和下料均采用雙動力傳輸輥，傳動電機(jī)功率 0.75KW。下料端設(shè)計(jì)為帶有一定坡度的 滑板，以保證硅片能夠自動滑落至下一工序。 2、熱水壓力噴淋清洗工位、壓力噴淋漂洗工位 熱水壓力噴淋清洗工位和壓力噴淋漂洗工位均設(shè)上下三道噴淋系統(tǒng)，噴淋清洗和漂洗過 程中硅片上部均設(shè)有壓輥定位系統(tǒng)，防止硅片漂浮。噴淋清洗時儲液槽中設(shè)有加熱管，采用 溫水噴淋有利于硅片表面的清洗。另外噴淋后的液體進(jìn)入儲液槽之前設(shè)有無紡布，能夠有效 將工件表

12、面的雜質(zhì)碎屑攔截，液體重復(fù)利用率有效提高。 3、堿液刷洗工位 堿液刷洗工位設(shè)上下兩道刷輥，刷洗硅片上方時硅片下部設(shè)有托輥輸送系統(tǒng)，刷洗硅片下方時硅 片上部設(shè)有壓輥定位系統(tǒng)，防止硅片漂浮。儲液槽內(nèi)設(shè)有加熱管，采用溫水加堿性清洗劑進(jìn)行清洗， 使硅片表面的油墨及雜質(zhì)能夠快速高效的去除。 4、吸水輥吸水工位 設(shè)三道吸水輥，該工位能夠?qū)⒐杵砻娲蟛糠值乃治摺? 5、風(fēng)刀切液工位 吸水輥將漂洗完成后的硅片表面大部分的水分吸走后，硅片進(jìn)入該工序，高壓風(fēng)通過風(fēng)機(jī)從風(fēng)刀 吹出，將硅片表面殘留的水份吹干。

13、 八、安全防護(hù) 該設(shè)備所有轉(zhuǎn)動部位、有壓力意外釋放部位、容易引發(fā)高溫燙傷部位等，均應(yīng)進(jìn)行應(yīng)有的防護(hù)，以及設(shè)置緊急停機(jī)裝置。 九、清潔要求 該設(shè)備所涉及的水槽、滾刷等，均應(yīng)做到便于拆卸清潔，以及清潔后各部件便于組裝恢 復(fù)。 十、整機(jī)參數(shù)： 1、 設(shè)備外形尺寸約： L4500*W1000*H1180mm 2、 動力總功率約： 15.25KW 3、 加熱總功率約： 12KW 4、 電源： 380VAC/50Hz （三相四線＋地線） 十一、設(shè)備配送技術(shù)資料： 1、操作使用說明書（含安裝、操作及維修）叁份； 2、產(chǎn)品合格證明書（含產(chǎn)品合格證及保修卡）叁份。 十二、售后服務(wù)： 1、設(shè)備制作方向現(xiàn)場施工人員提供所需的所有細(xì)節(jié)，以便準(zhǔn)備現(xiàn)場安裝。 2、設(shè)備制作方應(yīng)到用戶工廠現(xiàn)場安裝設(shè)備。 3、設(shè)備安裝期間，設(shè)備制作方為用戶設(shè)備操作人員提供設(shè)備的操作、維護(hù)保養(yǎng)、緊急事故處 理等技術(shù)培訓(xùn)。 4、設(shè)備交付使用后設(shè)備制作方無償為用戶提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù)， 無償為用戶提供 非人為而損壞的設(shè)備零件。一年后設(shè)備制作方為用戶提供終身技術(shù)服務(wù)。