《工程學(xué)概論》微電子學(xué).ppt

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1、1,第二章 微電子學(xué),什么是微電子學(xué)和微電子學(xué)是研究什么的； 對微電子學(xué)的發(fā)展歷史、現(xiàn)狀和未來有一個比較清晰的認(rèn)識； 了解半導(dǎo)體物理、半導(dǎo)體器件物理、集成電路工藝、集成電路設(shè)計(jì)、集成電路CAD方法、MEMS技術(shù)等基本概念，對微電子學(xué)的整體有一個比較全面的認(rèn)識。,2,主 要 內(nèi) 容,微電子技術(shù)簡介 微電子科學(xué)技術(shù)的戰(zhàn)略地位 微電子科學(xué)技術(shù)的發(fā)展歷史 我國微電子發(fā)展概況,3,一.微電子技術(shù)簡介,4,微電子技術(shù)簡介 微電子學(xué)：Microelectronics 微電子學(xué)微型電子學(xué) 核心集成電路,5,電 子 學(xué),,微電子學(xué),6,集成電路： Integrated Circuit，縮寫IC 通過一系列特定

2、的加工工藝，將晶體管、二極管等有源器件和電阻、電容等無源器件，按照一定的電路互連，“集成”在一塊半導(dǎo)體單晶片（如硅或砷化鎵）上，封裝在一個外殼內(nèi)，執(zhí)行特定電路或系統(tǒng)功能,7,封裝好的集成電路,8,集成電路,集成電路的內(nèi)部電路,9,硅單晶片與加工好的硅片,10,12吋（300mm）晶園片,11,集成電路芯片的顯微照片,12,64M SDRAM （華虹NEC生產(chǎn)） 芯片面積5.899.7=57mm2 ， 456pcs/w，1個IC中含有1.34億只晶體管,13,集成電路的內(nèi)部單元,14,溝道長度為0.15微米的晶體管,柵長為90納米的柵圖形照片,15,50m,100 m 頭發(fā)絲粗細(xì),30m,,1m

3、 1m (晶體管的大小),3050m (皮膚細(xì)胞的大小),90年代生產(chǎn)的集成電路中晶體管大小與人類頭發(fā)絲粗細(xì)、皮膚細(xì)胞大小的比較,16,集成電路設(shè)計(jì)與制造的主要流程框架,17,集成電路的設(shè)計(jì)過程： 設(shè)計(jì)創(chuàng)意 + 仿真驗(yàn)證,設(shè)計(jì)業(yè),18,,制造業(yè),芯片制造過程,AA,19,封裝好的集成電路,封裝與測試業(yè),20,微電子的特點(diǎn),微電子學(xué)：電子學(xué)的一門分支學(xué)科 微電子學(xué)以實(shí)現(xiàn)電路和系統(tǒng)的集成為目的，故實(shí)用性極強(qiáng)。 微電子學(xué)中的空間尺度通常是以微米(m, 1m106m)和納米(nm, 1nm = 10-9m)為單位的。 微電子學(xué)是信息領(lǐng)域的重要基礎(chǔ)學(xué)科,21,微電子的特點(diǎn),微電子學(xué)是一門綜合性很強(qiáng)的

4、邊緣學(xué)科 涉及了固體物理學(xué)、量子力學(xué)、熱力學(xué)與統(tǒng)計(jì)物理學(xué)、材料科學(xué)、電子線路、信號處理、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)、測試與加工、圖論、化學(xué)等多個學(xué)科 微電子學(xué)是一門發(fā)展極為迅速的學(xué)科，高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微電子學(xué)發(fā)展的方向 微電子學(xué)的滲透性極強(qiáng)，它可以是與其他學(xué)科結(jié)合而誕生出一系列新的交叉學(xué)科，例如微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、生物芯片等,22,二. 微電子科學(xué)技術(shù)的戰(zhàn)略地位,23,自然界和人類社會的一切活動都在產(chǎn)生信息。信息是客觀事物狀態(tài)和運(yùn)動特征的一種普遍形式，是人類社會、經(jīng)濟(jì)活動的重要資源。 社會的各個部分通過網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)連接成一個整體，由高速大容量光線和通訊衛(wèi)星群以光速和寬頻帶地傳送信息，從

5、而使社會信息化、網(wǎng)絡(luò)化和數(shù)字化。,微電子：信息社會發(fā)展的基石,24,實(shí)現(xiàn)社會信息化的網(wǎng)絡(luò)及其關(guān)鍵部件不管是各種計(jì)算機(jī)和/或通訊機(jī)，它們的基礎(chǔ)都是微電子 1946年第一臺計(jì)算機(jī)：ENIAC,這樣的計(jì)算機(jī)能夠進(jìn)入辦公室、車間、連隊(duì)和家庭？當(dāng)時(shí)有的科學(xué)家認(rèn)為全世界只要4臺ENIAC 目前，全世界計(jì)算機(jī)不包括微機(jī)在內(nèi)有幾百萬臺，微機(jī)總量約6億臺，每年由計(jì)算機(jī)完成的工作量超過4000億人年工作量,25,第一臺通用電子計(jì)算機(jī)：ENIAC Electronic Numerical Integrator and Calculator 1946年2月14日 Moore School，Univ. of Penns

6、ylvania 18,000個電子管組成,大小：長24m，寬6m，高2.5m 速度：5000次/sec；重量：30噸； 功率：140KW；平均無故障運(yùn)行時(shí)間：7min,,,26,集成電路的作用,小型化 價(jià)格急劇下降 功耗降低 故障率降低,27,集成電路的戰(zhàn)略地位首先表現(xiàn)在當(dāng)代國民經(jīng)濟(jì)的“食物鏈”關(guān)系,進(jìn)入信息化社會的判據(jù)：半導(dǎo)體產(chǎn)值占工農(nóng)業(yè)總產(chǎn)值的0.5%,28,據(jù)美國半導(dǎo)體協(xié)會（SIA）預(yù)測,2012年,29,其次，統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)表明，發(fā)達(dá)國家在發(fā)展過程中都有一條規(guī)律 集成電路（IC）產(chǎn)值的增長率（RIC）高于電子工業(yè)產(chǎn)值的增長率（REI） 電子工業(yè)產(chǎn)值的增長率又高于GDP的增長率（RGDP） 一

7、般有一個近似的關(guān)系 RIC1.52REI REI3RGDP,30,根據(jù)IMF（國際貨幣基金組織） RIC1.7REI REI3RGDP,31,世界GDP增長與世界集成電路產(chǎn)業(yè)增長情況比較（資料來源：ICE商業(yè)部）,,,抓住集成電路產(chǎn)業(yè)，就能促進(jìn)GDP高速增長,32,,,,1985-1990年間世界半導(dǎo)體商品市場份額,日本公司,美國公司,39%,37.9%,51.4%,50%,,,人均IC產(chǎn)值年增長率 人均電子工業(yè)年增長率 人均GNP年增長率,日本美國 日本美國 日本美國,2.2%,1.1%,0.1%,80年代后期-90年代初美國采取了一

8、系列增強(qiáng)微電子技術(shù)創(chuàng)新和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的措施，重新奪回領(lǐng)先地位。90年代以來美國經(jīng)濟(jì)保持持續(xù)高速增長主要得益于信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，而其基礎(chǔ)是集成電路產(chǎn)業(yè)與技術(shù)創(chuàng)新。,兩個例子,33,90年代日本經(jīng)濟(jì)蕭條的同時(shí)，集成電路市場份額嚴(yán)重下降。,34,我國臺灣地區(qū),60年代后期人均GDP200-300美元 （1967年為267美元）,70-80年代大力發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè),90年代IT業(yè)高速發(fā)展,97年人均GDP=13559美元,,,,35, 在信息經(jīng)濟(jì)時(shí)代，產(chǎn)品，以其信息含量的多少及處理信息能力的強(qiáng)弱，決定著附加值的高低決定著在國際經(jīng)濟(jì)分工中的地位,36,我國IT企業(yè)與Intel公司利潤的比較,同樣，TI

9、公司（美國德州儀器公司）的技術(shù)創(chuàng)新，數(shù)字信號處理器（DSP）使它的利潤率比諾基亞高出10個百分點(diǎn)。,37,如果我們不發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè) IT行業(yè)停留在裝配業(yè)水平上，掙的“辛苦錢”。 在國際分工中我們將只能處于低附加值的低端上。 所以有人戲稱說：“你們說中關(guān)村是硅谷，但是一個無“芯”的硅谷，產(chǎn)品不可能有競爭力。”在沒有自己集成電路產(chǎn)業(yè)的情況下，我們的高新技術(shù)的發(fā)展命脈掌握在他人手中。 當(dāng)前，微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展規(guī)模和科學(xué)技術(shù)水平已成為衡量一個國家綜合實(shí)力的重要標(biāo)志。,38,幾乎所有的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)與微電子技術(shù)結(jié)合，用集成電路芯片進(jìn)行智能改造，都可以使傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)重新煥發(fā)青春 全國各行業(yè)的風(fēng)機(jī)、水泵的總耗電量約占

10、了全國發(fā)電量的30%，僅僅對風(fēng)機(jī)、水泵采用變頻調(diào)速等電子技術(shù)進(jìn)行改造，每年即可節(jié)電500億度以上，相當(dāng)于三個葛洲壩電站的發(fā)電量(157億度/年) 對白熾燈進(jìn)行高效節(jié)能改造，并假設(shè)推廣應(yīng)用30%，所節(jié)省的電能相當(dāng)于三座大亞彎核電站的發(fā)電量(139億度/年),微電子對傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的滲透與帶動作用,39,電子裝備更新?lián)Q代都基于微電子技術(shù)的進(jìn)步，其靈巧（Smart）的程度都依賴于集成電路芯片的“智慧”程度和使用程度,微電子對傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的滲透與帶動作用,40,,沒有微電子的電子工業(yè)只能是勞動密集型的組裝業(yè)，不能形成高附加值的知識經(jīng)濟(jì)，中國的硅谷將是無芯的硅谷,41,微電子對國家安全與國防建設(shè)的作用,武器裝備水

11、平與社會生產(chǎn)力、經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)有密切關(guān)系 在農(nóng)業(yè)社會：大刀長矛等冷兵器； 在工業(yè)化社會：槍、炮等熱兵器 信息化社會： IC成為武器的一個組成單元，電子戰(zhàn)、信息戰(zhàn),42,微電子對國家安全與國防建設(shè)的作用,43,微電子對信息社會的重要性,INTERNET基礎(chǔ)設(shè)施 各種各樣的網(wǎng)絡(luò)：電纜、光纖(光電子)、無線 ... 路由和交換技術(shù)：路由器、交換機(jī)、防火墻、網(wǎng)關(guān) ... 終端設(shè)備：PC、NetPC、WebTV ... 網(wǎng)絡(luò)基礎(chǔ)軟件：TCP/IP、DNS、LDAP、DCE ... INTERNET服務(wù) 信息服務(wù): 極其大量的各種信息 交易服務(wù): 高可靠、高保密 ... 計(jì)算服務(wù): “網(wǎng)絡(luò)就是計(jì)算機(jī) !”, “

12、計(jì)算機(jī)成了網(wǎng)絡(luò)的外部設(shè)備 !”,44,2020年世界最大的30個市場領(lǐng)域：其中與微電子相關(guān)的22個市場：5萬億美元（Nikkei Business 1999）,微電子產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略重要性,45,作 業(yè),列舉出你見到的、想到的不同類型的集成電路及其主要作用 用你自己的話解釋微電子學(xué)、集成電路的概念,46,三.微電子科學(xué)技術(shù)的發(fā)展歷史,47,晶體管的發(fā)明,理論推動 19世紀(jì)末20世紀(jì)初發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體的三個重要物理效應(yīng) 光電導(dǎo)效應(yīng) 光生伏特效應(yīng) 整流效應(yīng) 量子力學(xué) 材料科學(xué) 需求牽引：二戰(zhàn)期間雷達(dá)等武器的需求,48,晶體管的發(fā)明,1946年1月，Bell實(shí)驗(yàn)室正式成立半導(dǎo)體研究小組, W. Schokle

13、y，J. Bardeen、W. H. Brattain Bardeen提出了表面態(tài)理論， Schokley給出了實(shí)現(xiàn)放大器的基本設(shè)想，Brattain設(shè)計(jì)了實(shí)驗(yàn) 1947年12月23日，第一次觀測到了具有放大作用的晶體管(10MHz下放大100倍）,49,晶體管的三位發(fā)明人：巴丁、肖克萊、布拉頓,50,1947年12月23日 第一個晶體管 NPN Ge晶體管 W. Schokley J. Bardeen W. Brattain,獲得1956年Nobel物理獎,貝爾實(shí)驗(yàn)室的巴丁和布拉頓用兩個金屬探針探測一片半導(dǎo)體鍺片,把鍺片作為一個公共電極,兩個金屬探針作為電極,發(fā)現(xiàn)一個金屬電極上的電流變化,能

14、使另一金屬電極上的電壓成比例改變,這就是晶體管的雛形。 在巴丁和布拉頓實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)晶體管效應(yīng)幾個月后,1948年初同在貝爾實(shí)驗(yàn)室的肖克萊,從理論上提出了兩個平行的PN結(jié)構(gòu)成結(jié)型晶體管的設(shè)想。1949年貝爾實(shí)驗(yàn)室完成了第一個鍺的PNP結(jié)構(gòu),1950年制成了有良好結(jié)特性的生長結(jié)晶體管,51,集成電路的發(fā)明,1952年5月，英國科學(xué)家G. W. A. Dummer第一次提出了集成電路的設(shè)想 1958年以德克薩斯儀器公司的科學(xué)家基爾比(Clair Kilby)為首的研究小組研制出了世界上第一塊集成電路，并于1959年公布了該結(jié)果,基爾比,52,1958年第一塊集成電路：TI公司的Kilby，12個器件，

15、Ge晶片,獲得2000年Nobel物理獎,53,微電子發(fā)展史上的幾個里程碑,1962年Wanlass、C. T. SahCMOS技術(shù) 現(xiàn)在集成電路產(chǎn)業(yè)中占95%以上 1967年Kahng、S. Sze 非揮發(fā)存儲器 1968年Dennard單晶體管DRAM 1971年Intel公司微處理器計(jì)算機(jī)的心臟 目前全世界微機(jī)總量約6億臺，在美國每年由計(jì)算機(jī)完成的工作量超過4000億人年工作量。美國歐特泰克公司認(rèn)為：微處理器、寬頻道連接和智能軟件將是21世紀(jì)改變?nèi)祟惿鐣徒?jīng)濟(jì)的三大技術(shù)創(chuàng)新,54,55,第一個CPU：4004,56,Pentium III CPU芯片,57,58,不斷提高產(chǎn)品的性能價(jià)

16、格比是微電子技術(shù)發(fā)展的動力 集成電路芯片的集成度每三年提高4倍，而加工特征尺寸縮小 倍，這就是摩爾定律,微電子發(fā)展的規(guī)律,59,基于市場競爭，不斷提高產(chǎn)品的性能價(jià)格比是微電子技術(shù)發(fā)展的動力。在新技術(shù)的推動下，集成電路自發(fā)明以來四十年，集成電路芯片的集成度每三年提高4倍，而加工特征尺寸縮小 倍。這就是由Intel公司創(chuàng)始人之一Gordon E. Moore博士1965年總結(jié)的規(guī)律，被稱為摩爾定律。,微電子技術(shù)發(fā)展的ROADMAP,60,微處理器的性能,100 G 10 G Giga 100 M 10 M Mega Kilo,1970 1980 1990 2000 2010,,導(dǎo)

17、入期,,MooresLaw,成熟期,61,集成電路技術(shù)是近50年來發(fā)展最快的技術(shù) 微電子技術(shù)的進(jìn)步,按此比率下降，小汽車價(jià)格不到1美分,From S.M.SZE,62,集成電路市場和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的發(fā)展規(guī)律,市場及其發(fā)展規(guī)律 產(chǎn)業(yè)格局與結(jié)構(gòu) Foundry建設(shè),63,30多年來，集成電路市場的成長迅速，基本上是一條指數(shù)發(fā)展規(guī)律。,資料來源：WSTS. 00/5 制圖:黃逸平、Mabel,市場及其發(fā)展規(guī)律,64,同時(shí)，集成電路市場又是高度變動的,約十年為一個漲落周期。,65,第一個周期(1975-1984，CAGR=20.4%): 國防工業(yè)、工作站、大型電腦和消費(fèi)類電子; 4和5 ; 產(chǎn)值在幾百億美元

18、 第二個周期(1985-1995，CAGR=20.8%): 中小型電腦、PC機(jī)；8 ；產(chǎn)值突破1000億美元 第三個周期(1996-2005，CAGR=15.6%): 除PC機(jī)外，網(wǎng)絡(luò)和通訊裝備，特別是移動通訊裝備; 8 和12 ; 產(chǎn)值3000億美元,66,67,1998-2003年世界及四大市場IC增長率和份額統(tǒng)計(jì)/預(yù)測表,68,21世紀(jì)，要求移動處理信息，隨時(shí)隨地獲取信息、處理信息成為把握先機(jī)而制勝的武器。 如果前20年P(guān)C是集成電路發(fā)展的驅(qū)動器的話，后20年除PC要繼續(xù)發(fā)展外，主要驅(qū)動器應(yīng)該是與Internet結(jié)合的可移動（Mobile)、袖珍的（Portable) 實(shí)時(shí)信息處理設(shè)備。

19、 核心電路是數(shù)字信號處理器（DSP-Digital Signal Processor),69,產(chǎn)業(yè)格局與產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu),集成電路的生命力在于它可以大批量、低成本和高可靠地生產(chǎn)出來。 集成電路芯片價(jià)格：101 102美元 生產(chǎn)線的投資： 109美元 （8”、0.25微米） 要想贏利：年產(chǎn)量106 集成電路芯片是整機(jī)高附加值的倍增器，但不是最終產(chǎn)品，如果不能在整機(jī)和系統(tǒng)中應(yīng)用，那它就沒有價(jià)值和高附加值 決定集成電路產(chǎn)業(yè)的建設(shè)必須首先考慮整機(jī)和系統(tǒng)應(yīng)用的發(fā)展，即市場的需求,70,集成電路芯片生產(chǎn)廠大致上可分為三類 通用電路生產(chǎn)廠，典型生產(chǎn)存儲器和CPU 集成器件制造商(IDMIntegrated Devi

20、ce Manufactory Co.), 產(chǎn)品主要用于自己的整機(jī)和系統(tǒng) 標(biāo)準(zhǔn)工藝加工廠或稱代客加工廠，即Foundry Foundry名詞來源于加工廠的鑄造車間，無自己產(chǎn)品 優(yōu)良的加工技術(shù)(包括設(shè)計(jì)和制造)及優(yōu)質(zhì)的服務(wù)為客戶提供加工服務(wù) 客戶群初期多為沒有生產(chǎn)線的設(shè)計(jì)公司，但是隨著技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)在許多IDM公司也將相當(dāng)多的業(yè)務(wù)交給Foundry加工,71,資料來源： Digitimes整理 2000/ 制圖：李柏毅、Mabel,前兩類廠家，IDM,與整機(jī)、系統(tǒng)用戶相結(jié)合，相對分散設(shè)計(jì)；以標(biāo)準(zhǔn)工藝（標(biāo)準(zhǔn)單元庫和IP庫）為接口，相對集中加工。這就導(dǎo)致了Fabless Co. 和Foundry的出

21、現(xiàn)。,IP模塊和Chipless Co.出現(xiàn),,, 1980,1980 1990,72,集成電路設(shè)計(jì)滯后現(xiàn)象,,,,,,,,,,,,,,,,0.01,0.1,1,10,1980,1985,1990,1995,2000,2005,2010,微米,芯片復(fù)雜度,柵長,58%/年,20%/人年,設(shè)計(jì)產(chǎn)率,差距增大,,,,,,,,,,,10G 1G 100M 10M 1M 100K 10K 1K,集成電路設(shè)計(jì)能力增長不能跟上芯片復(fù)雜度的增長速率,73,資料來源： Digitimes整理 2000/ 制圖：李柏毅、Mabel,前兩類廠家，IDM,與整機(jī)、系統(tǒng)用戶相結(jié)合，相對分散設(shè)計(jì)；以標(biāo)準(zhǔn)工藝（標(biāo)準(zhǔn)單元

22、庫和IP庫）為接口，相對集中加工。這就導(dǎo)致了Fabless Co. 和Foundry的出現(xiàn)。,IP模塊和Chipless Co.出現(xiàn),,集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展是市場牽引和技術(shù)推動的結(jié)果。不同的產(chǎn)業(yè)發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)可以有不同的形式,IP：知識產(chǎn)權(quán) (Intellectual Property), 1980,1980 1990,74,Foundry功能要求,行為級,多工藝模塊 p、DSP、E2PROM & Flash、A/D、D/A,,,,,,,,,Wafer級,封裝后 成品級,邏輯級,版圖級,MASK,研究開發(fā)支持,Foundry建設(shè),Foundry的建設(shè)必須采用系統(tǒng)工程的方法 基本特征：,75,

23、隨技術(shù)進(jìn)步，建廠費(fèi)用呈指數(shù)增加，這時(shí)必然出現(xiàn)兩種趨向： 各相關(guān)公司聯(lián)合建廠 IBM、Infineon與UMC的聯(lián)合 將更多業(yè)務(wù)交給Foundry，降低成本 Motorola已經(jīng)表示到2001年，將有50%以上的產(chǎn)能需從外部提供 日本Kawasaki公司取消他們計(jì)劃建設(shè)的0.18m的工廠，代之以與Foundry的合作,76,,2000年Foundry業(yè)務(wù)地區(qū)分布 （Semico Research Corp., 2-2000,counrtesy of Amkor Wafer Fabrication Services）,77,Foundry類加工芯片數(shù)量占世界集成電路芯片總產(chǎn)量的比例 （資料來源：D

24、ataquest）,,因此美國著名的預(yù)測與咨詢公司Dataguest： 未來屬于Foundry,78,四.我國微電子發(fā)展概況,79,我國微電子學(xué)的歷史,1955年5所學(xué)校在北大聯(lián)合創(chuàng)建半導(dǎo)體專業(yè) 北京大學(xué)、南京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、吉林大學(xué)、廈門大學(xué) 教師：黃昆、謝稀德、高鼎三、林蘭英 學(xué)生：王陽元、許居衍等 1977年在北京大學(xué)誕生第一塊大規(guī)模集成電路,80,我國微電子學(xué)的歷史,1982年，成立電子計(jì)算機(jī)和大規(guī)模集成電路領(lǐng)導(dǎo)小組 主任：萬里 80年代：初步形成三業(yè)分離的狀態(tài) 制造業(yè) 設(shè)計(jì)業(yè) 封裝業(yè),81,我國年微電子發(fā)展展望,我國IC骨干企業(yè)地區(qū)分布及銷售情況,,82,我國年微電子發(fā)展展望

25、,上海IC產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略目標(biāo),到2010年總投資量600億美元，建成20 40條生產(chǎn)線，200個設(shè)計(jì)公司及20家封裝/測試廠 帶動上海700億美元相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展，成為第一大產(chǎn)業(yè),83,我國年微電子發(fā)展展望,上海中芯國際： 14.76億美元，8英寸，0.25微米，4.2萬片/月 上海宏力 16.37億美元，8英寸，0.25微米，4萬片/月 北京華夏半導(dǎo)體 13億美元，8英寸，0.25微米 天津Motorola MOS17 14.75億美元，8英寸，0.25微米，6000片/周,84,我國微電子發(fā)展展望,北京訊創(chuàng) 2億美元，6英寸，0.35 0.6微米，3萬片/月 上海貝嶺 6英寸，7.88億元，0.5 0.35微米數(shù)?；旌霞呻娐罚?.5萬片/月 杭州士蘭 6英寸,85,未來十年將是我國微電子產(chǎn)業(yè)的黃金時(shí)期,我國年微電子發(fā)展展望,86,重 點(diǎn),基本概念 微電子、集成電路、集成度 微電子的戰(zhàn)略地位 對人類社會的巨大作用,87,結(jié)束語,2000年：以集成電路為基礎(chǔ)的電子信息產(chǎn)業(yè)成為世界第一大產(chǎn)業(yè) 硅是地球上除氧以外含量最豐富的元素，但它現(xiàn)在已經(jīng)成為知識創(chuàng)新的載體，價(jià)值千金。這是典型的“點(diǎn)石成金” 采取正確的戰(zhàn)略，就可以在集成電路領(lǐng)域就有可能后來居上 至少在今后50年，微電子技術(shù)仍會高速發(fā)展,88,作 業(yè),簡單敘述微電子學(xué)對人類社會的作用,,