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1、
中芯寧波200mm特種工藝(晶圓/芯片)N0項目
環(huán)境影響評價審批前公示
一、建設項目概況
項目名稱：中芯寧波200mm特種工藝(晶圓/芯片)N0項目
項目性質(zhì)：新建
建設單位：中芯集成電路（寧波）有限公司
建設地點：北侖區(qū)小港安居路335號
項目概況：項目建成投產(chǎn)后產(chǎn)品8英寸晶圓產(chǎn)能可達15000片/月，項目主要生產(chǎn)工藝包括晶圓裸片→清洗→微影曝光→顯影→去膠→刻蝕→濺鍍→褪火→平坦化（多達幾十輪循環(huán)，其中涉及純水、特氣、靶材、研磨液、酸堿溶液等物料）→晶圓（未切割芯片）成品等工序。
二、主要影響分析結論
（1）聲環(huán)境影響分析結論
預測結果表明：通過上述降噪措施后，廠
2、界四周晝夜間噪聲預測值能夠達到3類標準。本項目周邊200m內(nèi)均為工業(yè)企業(yè)。因此，本項目生產(chǎn)噪聲對周圍環(huán)境影響不大。
（2）大氣環(huán)境影響分析結論
根據(jù)《環(huán)境影響評價技術導則-大氣環(huán)境》(HJ2.2-2008)估算模式計算結果，在落實污染治理措施的情況下，項目廢氣污染物的最大地面濃度占標率Pmax=0.39%，小于10%，項目廢氣正常排放對周圍大氣環(huán)境影響較小。
（3）水環(huán)境影響分析結論
項目各廢水采取分類收集、分質(zhì)處理、再合并混合處理，CODCr、NH3-N、SS、氟化物、銅等指標均可達到納管標準后，通過標準化排放口排入污水管網(wǎng)，送新周污水處理廠集中處理后排放。項目廢水排放對污水處理廠負
3、荷沖擊和納污水體影響均較小。廢水產(chǎn)生量為1275.68t/d,可直接納管排放。
三、污染防治措施
項目污染防治措施匯總見下表1。
表1 污染防治措施匯總表
措施名稱
主要內(nèi)容
預期治理效果
廢氣
酸性廢氣
酸性廢氣處理系統(tǒng)處理達標后25m高排氣筒排放。
滿足GB16297-1996中新污染源二級標準。
堿性廢氣
堿性廢氣處理系統(tǒng)處理達標后25m高排氣筒排放。
滿足GB16297-1996中新污染源二級標準。
有機廢氣
有機廢氣處理系統(tǒng)處理達標后25m高排氣筒排放。
滿足GB16297-1996中新污染源二級標準。
廢水
生產(chǎn)廢水
生
4、活污水
生活污水經(jīng)化糞池預處理，生產(chǎn)廢水經(jīng)配套的污水處理站處理，廢水處理規(guī)模為1275.68t/d，處理出水經(jīng)廠區(qū)總排口排入污水管網(wǎng)，納管廢水最終經(jīng)新周污水處理廠集中處理后排放。
納管執(zhí)行GB8978-1996三級標準，處理后排放執(zhí)行GB18918-2002一級A標準。
噪聲
車間降噪設計
對車間設置空心隔聲墻、雙層隔音窗戶等，車間日常關閉門窗生產(chǎn)。
廠界噪聲排放滿足GB12348-2008中3類標準。
設備合理布局
車間內(nèi)設備應合理布局，高噪聲設備盡量布置于廠區(qū)中部。
設備隔聲降噪
對高噪聲的風機，盡量布置在隔聲間內(nèi)，并在風機座基礎減震，安裝彈性襯墊和保護套；風機進出口管
5、路加裝避震喉；對風機安裝隔聲罩或在進風口安裝消聲器。
強化生產(chǎn)管理
定期檢查設備，加強設備維護，使設備處于良好的運行狀態(tài)，避免和減輕非正常運行產(chǎn)生的噪聲，做到文明生產(chǎn)；對運輸車輛加強管理和維護，保持車輛良好工況，廠內(nèi)應該限制車速，禁鳴喇叭，盡量避免夜間運輸。
廠界隔聲設計
加高、加厚廠界圍墻，并根據(jù)噪聲防治設計規(guī)范將廠界圍墻設計成隔聲墻。
固廢
一般固廢
廢靶材邊角料收集外售給廢舊物資回收公司；生活垃圾、廢抹布在廠區(qū)內(nèi)定點收集，然后委托當?shù)丨h(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運至垃圾填埋廠進行衛(wèi)生填埋。
資源化，無害化，不造成二次污染。
危險廢物
部分廢液加入廠區(qū)廢水處理站由企業(yè)自行處理；廢活性
6、碳、廢液、廢包裝材料等危險廢物需委托有資質(zhì)的危廢處理單位進行安全處置。
風險
要求企業(yè)新建一個不小于32m3的事故應急池，以備廠區(qū)內(nèi)發(fā)生事故時使用，并落實事故、消防水的收集系統(tǒng)，廠區(qū)所有外排管道均設置切斷裝置和應急設施，確保一旦意外事故，所有污水均能收集，避免流入附近河道。
四、環(huán)境影響評價結論
中芯集成電路（寧波）有限公司“中芯寧波200mm特種工藝(晶圓/芯片)N0項目”位于北侖區(qū)小港安居路335號。項目建設符合環(huán)境功能區(qū)規(guī)劃的要求；排放污染物符合國家、省規(guī)定的污染物排放標準，符合總量控制指標；造成的環(huán)境影響符合建設項目所在地環(huán)境功能區(qū)劃確定的環(huán)境質(zhì)量要求；同時，項目建設符合主體功能區(qū)規(guī)劃、土地利用規(guī)劃、城鄉(xiāng)規(guī)劃的要求；符合國家和省產(chǎn)業(yè)政策等的要求；符合“三線一單”要求。項目實施過程中，企業(yè)應加強環(huán)境質(zhì)量管理，認真落實環(huán)境保護措施，采取相應的污染防治措施，能使廢水、廢氣、噪聲達標排放，固廢得到安全處置，則本項目的建設對環(huán)境影響較小，能基本維持當?shù)丨h(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀。從環(huán)境保護角度看，本項目的建設是可行的。
中芯寧波200mm特種工藝（晶圓芯片）N0項目
