微電子學(xué)專業(yè)介紹

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1、微 電 子 學(xué) 專 業(yè) 介 紹 內(nèi) 容 什 么 是 微 電 子 學(xué) ？ 我 們 的 條 件 是 什 么 ？ 學(xué) 習(xí) 什 么 知 識(shí) ？ 畢 業(yè) 后 去 哪 里 ？ 什 么 是 微 電 子 學(xué) ？ 微 （ 微 小 、 微 觀 ） 電 子 學(xué) micro-electronics micro-meter(m) 微 電 子 學(xué) 的 特 點(diǎn) 包 括 :（ 1 ） 它 是 電 子 學(xué) 的 一 門(mén) 分 支 學(xué) 科（ 2 ） 以 實(shí) 現(xiàn) 電 路 和 系 統(tǒng) 的 集 成 為 目 的 ， 故 實(shí) 用 性 極 強(qiáng)（ 3 ） 其 空 間 尺 度 通 常 是 以 微 米 （ um， 1 um = 1 0 -6 m）和

2、納 米 （ nm， 1 nm = 1 0 -9 m）為 單 位 的（ 4 ） 它 是 信 息 領(lǐng) 域 的 重 要 基 礎(chǔ) 學(xué) 科（ 5 ） 微 電 子 學(xué) 是 一 門(mén) 綜 合 性 很 強(qiáng) 的 邊 緣 學(xué) 科 ,涉 及 物 理 、化 學(xué) 、 電 路 理 論 、 信 號(hào) 處 理 、和 計(jì) 算 機(jī) 等 多 個(gè) 學(xué) 科（ 6 ） 微 電 子 學(xué) 是 一 門(mén) 發(fā) 展 極 為 迅 速 的 學(xué) 科 ， 高 集 成 度 、低 功 耗 、 高 可 靠 性 是 微 電 子學(xué) 的 發(fā) 展 方 向（ 7 ） 微 電 子 學(xué) 的 滲 透 性 極 強(qiáng) ， 它 可 以 與 其 它 學(xué) 科 結(jié) 合而 誕 生 出 一 系 列

3、新 的 交 叉 學(xué) 科 ，例 如 微 機(jī) 電 系 統(tǒng) （ MEMS） 、 生 物 芯 片 等 微 電 子 學(xué) 學(xué) 科 ： 理 學(xué) 門(mén) 類 ： 電 子 信 息 科 學(xué) 類 專 業(yè) 名 稱 ： 微 電 子 學(xué) 業(yè) 務(wù) 培 養(yǎng) 目 標(biāo) ： 本 專 業(yè) 培 養(yǎng) 掌 握 微 電 子 學(xué) 專 業(yè) 所 必 需 的 基 礎(chǔ) 知 識(shí) 、 基 本 理 論 和 基 本 實(shí) 驗(yàn) 技 能 ，能 在 微 電 子 學(xué) 及 相 關(guān) 領(lǐng) 域 從 事 科 研 、 教 學(xué) 、 科 技 開(kāi) 發(fā) 、 工 程 技 術(shù) 、 生 產(chǎn) 管 理 與 行 政 管 理 等 工 作 的 高級(jí) 專 門(mén) 人 才 。 業(yè) 務(wù) 培 養(yǎng) 要 求 ： 本 專 業(yè)

4、 學(xué) 生 主 要 學(xué) 習(xí) 微 電 子 學(xué) 的 基 本 理 論 和 基 本 知 識(shí) ， 受 到 科 學(xué) 實(shí) 驗(yàn) 與 科 學(xué) 思維 的 基 本 訓(xùn) 練 ， 具 有 良 好 科 學(xué) 素 養(yǎng) ， 掌 握 大 規(guī) 模 集 成 電 路 及 新 型 半 導(dǎo) 體 器 件 的 設(shè) 計(jì) 、 制 造 及 測(cè) 試 所必 需 的 基 本 理 論 和 方 法 ， 具 有 電 路 分 析 、 工 藝 分 析 、 器 件 性 能 分 析 和 版 圖 設(shè) 計(jì) 等 的 基 本 能 力 。 畢 業(yè) 生 應(yīng) 獲 得 以 下 幾 方 面 的 知 識(shí) 和 能 力 ： 1 掌 握 數(shù) 學(xué) 、 物 理 等 方 面 的 基 本 理 論 和 基

5、 本 知 識(shí) ； 2 掌 握 固 體 物 理 學(xué) 、 電 子 學(xué) 和 VLSI設(shè) 計(jì) 與 制 造 等 方 面 的 基 本 理 論 和 基 本 知 識(shí) ， 掌 握 集 成 電 路 和其 它 半 導(dǎo) 體 器 件 的 分 析 與 設(shè) 計(jì) 方 法 ， 具 有 獨(dú) 立 進(jìn) 行 版 圖 設(shè) 計(jì) 、 器 件 性 能 分 析 和 指 導(dǎo) VLSI工 藝 流 程 的基 本 能 力 ； 3 了 解 相 近 專 業(yè) 的 一 般 原 理 和 知 識(shí) ； 4 熟 悉 國(guó) 家 電 子 產(chǎn) 業(yè) 政 策 、 國(guó) 內(nèi) 外 有 關(guān) 的 知 識(shí) 產(chǎn) 權(quán) 及 其 它 法 律 法 規(guī) ； 5 了 解 VLSI和 其 它 新 型 半 導(dǎo)

6、 體 器 件 的 理 論 前 沿 、 應(yīng) 用 前 景 和 最 新 發(fā) 展 動(dòng) 態(tài) ， 以 及 電 子 產(chǎn) 業(yè) 發(fā) 展?fàn)?況 ； 6 掌 握 資 料 查 詢 、 文 獻(xiàn) 檢 索 及 運(yùn) 用 現(xiàn) 代 信 息 技 術(shù) 獲 取 相 關(guān) 信 息 的 基 本 方 法 ； 具 有 一 定 的 實(shí) 驗(yàn) 設(shè)計(jì) ， 創(chuàng) 造 實(shí) 驗(yàn) 條 件 ， 歸 納 、 整 理 、 分 析 實(shí) 驗(yàn) 結(jié) 果 ， 撰 寫(xiě) 論 文 ， 參 與 學(xué) 術(shù) 交 流 的 能 力 。 主 干 學(xué) 科 ： 電 子 科 學(xué) 與 技 術(shù) 主 要 課 程 ： 半 導(dǎo) 體 物 理 及 實(shí) 驗(yàn) 、 半 導(dǎo) 體 器 件 物 理 、 集 成 電 路 設(shè) 計(jì) 原

7、 理 、 集 成 電 路 工 藝 原 理 、 集成 電 路 CAD、 微 電 子 學(xué) 專 業(yè) 實(shí) 驗(yàn) 和 集 成 電 路 工 藝 實(shí) 習(xí) 等 。 主 要 實(shí) 踐 性 教 學(xué) 環(huán) 節(jié) ： 包 括 生 產(chǎn) 實(shí) 習(xí) 、 畢 業(yè) 論 文 (設(shè) 計(jì) )等 ， 一 般 安 排 1 0 -2 0 周 。 修 業(yè) 年 限 ： 四 年 授 予 學(xué) 位 ： 理 學(xué) 或 工 學(xué) 學(xué) 士 微 電 子專業(yè)內(nèi)容 半 導(dǎo) 體 材 料 ： Si、 GaAs、 ZnSe 半 導(dǎo) 體 物 理 ： 半 導(dǎo) 體 器 件 ： 元 器 件 (電 子 和 光 電 子 ） 、 集 成 電路 半 導(dǎo) 體 工 藝 ： 制 造 工 藝 、 測(cè) 試

8、 技 術(shù) 、 微 機(jī) 械 計(jì) 算 機(jī) 輔 助 器 件 、 工 藝 模 擬 新 型 器 件 、 微 系 統(tǒng) 的 開(kāi) 發(fā)1. 設(shè) 計(jì) 軟 件 的 開(kāi) 發(fā) 用 什 么 做 ？做 什 么 ？怎 么 做 ？ 內(nèi) 容 什 么 是 微 電 子 學(xué) ？ 我 們 的 條 件 是 什 么 ？ 畢 業(yè) 后 去 哪 里 ？ 學(xué) 習(xí) 什 么 知 識(shí) ？ 我 們 的 條 件 5 0 th 五 校 聯(lián) 辦 半 導(dǎo) 體 專 業(yè) 8 0 th 第 一 批 博 士 點(diǎn) ： 半 導(dǎo) 體 物 理 與 半 導(dǎo) 體器 件 物 理 9 0 th 凝 聚 態(tài) 物 理 （ 理 科 二 級(jí) ） 0 3 年 微 電 子 學(xué) 與 固 體 電 子 學(xué)

9、 （ 工 科 二 級(jí) ） 2 1 1 第 一 批 重 點(diǎn) 學(xué) 科 （ 一 期 二 期 ） 9 8 5 第 一 批 重 點(diǎn) 學(xué) 科 （ 1 /9 ) 1 9 5 6 年 ， 國(guó) 家 制 定 了 1 2 年 科 學(xué) 發(fā) 展 規(guī) 劃 ， 將 半 導(dǎo) 體 列 為 重 要 發(fā) 展 技 術(shù) 之 一 。 同 年 在北 京 大 學(xué) 成 立 了 由 北 京 大 學(xué) 、 廈 門(mén) 大 學(xué) 、 南 京 大 學(xué) 、 復(fù) 旦 大 學(xué) 和 吉 林 大 學(xué) 組 成 的 半導(dǎo) 體 培 訓(xùn) 班 。 1 9 5 8 年 ， 劉 士 毅 、 吳 伯 僖 、 陳 金 富 老 師 ， 以 及 黃 美 純 、 鄭 健 生 、 周 必忠 等

10、 幾 位 首 屆 畢 業(yè) 生 回 校 建 立 了 半 導(dǎo) 體 專 業(yè) 。 1 9 6 6 年 由 高 教 部 批 準(zhǔn) 成 立 了 半 導(dǎo) 體 研 究 室 。 承 擔(dān) 了 許 多 科 研 項(xiàng) 目 ， 國(guó) 家 和 地 方 的 重點(diǎn) 或 重 大 科 研 任 務(wù) ， 培 養(yǎng) 了 一 批 又 一 批 的 學(xué) 生 1 9 7 6 年 后 還 培 養(yǎng) 了 相 當(dāng) 數(shù) 量 的 “ 半 導(dǎo) 體 物 理 與 器 件 物 理 ” 的 碩 士 生 和 博 士 生 ， 1 9 9 6 年 “ 半 導(dǎo) 體 物 理 與 器 件 ” 專 業(yè) 改 為 “ 凝 聚 態(tài) 物 理 ” 專 業(yè) 2 0 0 6 年 批 準(zhǔn) 設(shè) 立 “微

11、 電 子 學(xué) 與 固 體 電 子 學(xué) ”博 士 點(diǎn)物 理 系 “ 微 電 子 學(xué) ” 專 業(yè) 的 基 礎(chǔ) 和 優(yōu) 勢(shì) 2 0 0 1 年 獲 得 “ 微 電 子 學(xué) 與 固 體 電 子 學(xué) ” 碩 士 學(xué) 位 授 予 權(quán) ， 2 0 0 6 年獲 得 的 博 士 授 予 權(quán) ， 確 定 了 三 個(gè) 具 有 特 色 和 優(yōu) 勢(shì) 的 研 究 方 向 ： 半 導(dǎo) 體 物 理 集 成 電 路 與 微 電 子 系 統(tǒng) 設(shè) 計(jì) 、 信 息 光 電 子 學(xué) ， 研 究 隊(duì) 伍 中 以 獲 得 博 士 學(xué) 位 的 年 輕 人 占 多 數(shù) ， 主 要 成 員 有豐 富 的 經(jīng) 驗(yàn) 積 累 和 較 高 的 學(xué) 術(shù)

12、 水 平 ， 已 完 成 一 批 國(guó) 內(nèi) 領(lǐng) 先 、意 義 重 大 的 研 究 成 果 ； 實(shí) 驗(yàn) 設(shè) 備 和 實(shí) 驗(yàn) 室 條 件 良 好 ， 軟 件 工具 豐 富 ， 圖 書(shū) 資 料 齊 全 。近 五 年 ， 在 科 研 方 面 ， 物 理 系 在 微 電 子 領(lǐng) 域 承 擔(dān) 有 國(guó) 家 “ 9 7 3 ”和“ 8 6 3 ”計(jì) 劃 課 題 、 國(guó) 家 半 導(dǎo) 體 照 明 工 程 “ 十 五 ” 攻 關(guān) 計(jì) 劃 重大 任 務(wù) 、 國(guó) 家 自 然 科 學(xué) 基 金 重 大 、 重 點(diǎn) 課 題 和 面 上 項(xiàng) 目 、 福建 省 重 大 和 重 點(diǎn) 基 金 項(xiàng) 目 等 9 0 多 項(xiàng) 研 究 任 務(wù)

13、 ， 總 經(jīng) 費(fèi) 達(dá) 2 0 0 0多 萬(wàn) 元 ， 取 得 許 多 重 要 成 果 。 其 中 有 的 獲 得 省 部 級(jí) 獎(jiǎng) 勵(lì) 6 項(xiàng) 、省 部 級(jí) 以 上 鑒 定 7 項(xiàng) 、 專 利 1 8 項(xiàng) 、 實(shí) 現(xiàn) 產(chǎn) 業(yè) 化 6 項(xiàng) ， 取 得 顯 著的 經(jīng) 濟(jì) 效 益 。 在 國(guó) 內(nèi) 外 重 要 學(xué) 術(shù) 刊 物 上 正 式 發(fā) 表 論 文 約 1 0 0 0篇 ， 其 中 被 SCI收 錄 3 0 0 多 篇 、 被 EI收 錄 2 0 0 多 篇 。 出 版 專 著 幾部 。 我 校 進(jìn) 入 “ 211工 程 ” 500萬(wàn) 元 “ 信 息 光 電 子 材 料 與 信 息 技 術(shù) ” 被 確

14、 定 為 重 點(diǎn) 學(xué) 科 之 一 ， 在 “ 211工 程 ”建 設(shè) 基 金 的 資 助 下 ， 物 理 系 建 立 了 “ 211工 程 ” 重 點(diǎn) 實(shí) 驗(yàn) 室 ， 主 要 建 設(shè) 微電 子 材 料 和 器 件 的 設(shè) 計(jì) 、 制 備 、 測(cè) 試 研 究 。 “ 211工 程 ” 二 期 ， 1100萬(wàn) 元 ， 用 于 “ 信 息 光 電 子 材 料 與 信 息 技 術(shù) ” 的 補(bǔ) 充 “ 211工 程 ” 十 一 五 投 入 是 2000萬(wàn) 元 ， 形 成 微 電 子 的 完 善 工 藝 “ 985” 投 入 “ 薩 本 棟 微 機(jī) 電 研 究 中 心 ” ， 一 期 （ 2000年 -2

15、003年 ） 3500多 萬(wàn) ， 中 心 建 立以 硅 為 基 礎(chǔ) 的 微 電 子 機(jī) 械 加 工 工 藝 實(shí) 驗(yàn) 室 和 微 電 子 設(shè) 計(jì) 研 究 室 ， 有 先 進(jìn) 的集 成 電 路 平 面 工 藝 和 測(cè) 試 所 需 的 設(shè) 備 及 設(shè) 計(jì) 環(huán) 境 和 軟 件 工 具 ， 為 微 電 子 學(xué)科 研 和 教 學(xué) 提 供 了 一 個(gè) 良 好 的 基 地 。 “ 985” 第 二 期 （ 2004年 -2006年 ） 計(jì) 劃 投 入 建 設(shè) 經(jīng) 費(fèi) 3000萬(wàn) 。 “ 光 子 學(xué) 研 究 中 心 ” ， 已 投 入 2100多 萬(wàn) 元 建 設(shè) 經(jīng) 費(fèi) ， 建 設(shè) 有 英 國(guó) Thomas S

16、wan科 學(xué) 儀 器 公 司 GaN 金 屬 有 機(jī) 化 學(xué) 氣 相沉 積 系 統(tǒng) （ MOCVD） 、 國(guó) 內(nèi) 組 裝 的 激 光 誘 導(dǎo) 雙 生 長(zhǎng) 室 超 高 精 度 化 學(xué) 氣 相 沉積 系 統(tǒng) （ UHV-CVD） 、 德 國(guó) Omicro公 司 分 子 束 外 延 （ MBE） 、 美 國(guó) 的 高 精 度 光 學(xué) 鍍 膜 機(jī) 等 半 導(dǎo) 體 光 電 子 材 料 與 器 件 生 長(zhǎng) 系 統(tǒng) 。 以 “ 光 子 學(xué) 研 究 中 心 ” 為 依 托 的 “ 光 電 信 息 材 料 與 器 件 ” 已 批 準(zhǔn) 列 為“ 985” 第 二 期 重 點(diǎn) 項(xiàng) 目 ， 計(jì) 劃 投 入 建 設(shè) 經(jīng)

17、費(fèi) 6000萬(wàn) 。 近 幾 年 微 電 子 的 投 入 ， “ 2 1 1 ”和 “ 9 8 5 ” 在 物 理 系 系 從 事 半 導(dǎo) 體 工 作 的 在 職 教 師 和實(shí) 驗(yàn) 技 術(shù) 人 員 30多 位 ， 其 中 近 二 分 之 一 是獲 得 博 士 學(xué) 位 的 年 輕 教 師 。 目 前 在 物 理 系 從 事 微 電 子 領(lǐng) 域 教 學(xué) 與 科 研 的 主 要 教 授 有 ： 王 啟 明 教 授 院 士 。 自 7 0 年 代 以 來(lái) ， 一 直 致 力 于 半 導(dǎo)體 光 電 子 學(xué) 領(lǐng) 域 的 研 究 。 現(xiàn) 正 參 與 主 持國(guó) 家 自 然 科 學(xué) 基 金 委 重 大 研 究 計(jì)

18、 劃 項(xiàng) 目“ 網(wǎng) 絡(luò) 與 信 息 安 全 ” 和 承 擔(dān) 國(guó) 家 重 點(diǎn) 基礎(chǔ) 研 究 規(guī) 劃 “ 支 撐 高 速 率 、 大 容 量 信 息光 網(wǎng) 絡(luò) 系 統(tǒng) 的 光 子 集 成 基 礎(chǔ) 研 究 ” 項(xiàng) 目課 題 。 余 金 中 教 授 ， 博 士 生 導(dǎo) 師目 前 從 事 的 研 究 領(lǐng) 域 為 ： 半 導(dǎo) 體 光 電 子 集成 和 Si基 光 電 子 學(xué) ， 正 在 研 究 的 課 題 有 國(guó)家 重 大 基 金 項(xiàng) 目 、 “ 8 6 3 ” 項(xiàng) 目 、 “ 9 7 3 ” 項(xiàng) 目 等 。張 保 平 教 授 ， 閩 江 學(xué) 者 ， 吳 正 云 教 授 ， 博 士 生 導(dǎo) 師主 要 從

19、事 納 米 低 維 半 導(dǎo) 體 材 料 及 器 件 的 研制 和 光 電 性 質(zhì) 的 研 究 ?？?俊 勇 教 授 ， 博 士 生 導(dǎo) 師 。從 事 半 導(dǎo) 體 光 電 信 息 材 料 科 研 。 朱 賢 方 教 授 博 士 生 導(dǎo) 師 。 主 要 研 究 方 向 為 通 過(guò) 非 平衡 熱 力 學(xué) 過(guò) 程 來(lái) 制 備 、 改 性 、 組 裝 納 米結(jié) 構(gòu) 和 器 件 。朱 梓 忠 教 授 博 士 生 導(dǎo) 師 。 研 究 方 向 ： 計(jì) 算 凝 聚 態(tài) 物理 ， 主 要 是 從 量 子 力 學(xué) 基 本 原 理 的 角 度出 發(fā) 對(duì) 材 料 ， 特 別 是 各 類 新 材 料 的 物 理性 質(zhì) 進(jìn)

20、 行 理 論 計(jì) 算 以 及 計(jì) 算 機(jī) 的 模 擬 劉 寶 林 教 授博 士 生 導(dǎo) 師 。 主 要 從 事 半 導(dǎo) 體 光 電 材 料 和 器 件 的研 究 ， 用 于 半 導(dǎo) 體 照 明 相 關(guān) 的 器 件 。 陳 松 巖 教 授 主 要 研 究 方 向 為 光 電 集 成 器 件 。李 成 教 授 主 要 研 究 方 向 為 Si基 發(fā) 光 和 光 電 集 成 器 件 。 專 業(yè) 發(fā) 展 的 主 要 方 向 根 據(jù) 我 系 的 基 礎(chǔ) 和 優(yōu) 勢(shì) ， 以 及 對(duì) 學(xué) 生 業(yè) 務(wù) 的 培 養(yǎng) 目 標(biāo) ， 本 專 業(yè) 規(guī) 劃三 個(gè) 主 要 發(fā) 展 方 向 ：1. 半 導(dǎo) 體 的 材 料 研

21、 究 Si GaN ZnO 在 微 電 子 技 術(shù) 發(fā) 展 的 過(guò) 程 中 ， 半 導(dǎo) 體 材 料 一 直 扮 演 著 一 個(gè) 主 要 的 角色 ， 材 料 特 性 是 器 件 特 性 的 基 礎(chǔ) 。 本 方 向 培 養(yǎng) 學(xué) 生 掌 握 半 導(dǎo) 體 材 料 的 基本 物 理 問(wèn) 題 ： 新 型 材 料 ， 如 微 結(jié) 構(gòu) 材 料 、 光 電 集 成 材 料 的 結(jié) 構(gòu) 設(shè) 計(jì) 、 制備 方 法 與 工 藝 原 理 ； 材 料 特 殊 性 能 和 新 型 材 料 的 開(kāi) 發(fā) 與 應(yīng) 用 ； 材 料 測(cè) 試與 分 析 ； 材 料 制 備 與 加 工 過(guò) 程 對(duì) 材 料 物 理 特 性 的 影 響

22、； 材 料 特 性 與 器 件特 性 之 間 的 聯(lián) 系 ； 在 器 件 制 造 過(guò) 程 中 常 用 的 一 些 材 料 特 性 檢 測(cè) 方 法 與 技術(shù) 。 同 時(shí) ， 培 養(yǎng) 學(xué) 生 掌 握 一 些 現(xiàn) 代 材 料 制 備 與 測(cè) 試 設(shè) 備 的 基 本 原 理 與 使用 方 法 ， 例 如 ： 磁 控 濺 射 機(jī) 、 金 屬 有 機(jī) 化 學(xué) 汽 相 沉 積 系 統(tǒng) （ MOCVD） 、低 壓 化 學(xué) 汽 相 沉 積 系 統(tǒng) （ LPCVD） 、 等 離 子 化 學(xué) 汽 相 沉 積 系 統(tǒng) （ PECVD） 、 真 空 鍍 膜 機(jī) 、 拉 普 拉 斯 缺 陷 譜 儀 、 光 伏 譜 儀 、

23、 電 化 學(xué) C-V測(cè) 試 儀 、 X光 電 子 能 譜 儀 （ XPS） 、 掃 描 電 子 顯 微 鏡 （ SEM） 等 等 。 2.集 成 電 路 技 術(shù) 集 成 電 路 技 術(shù) 是 微 電 子 技 術(shù) 領(lǐng) 域 中 的 最 重 要 的 技 術(shù) ， 它 主 要 包 含 設(shè) 計(jì) 和 制造 技 術(shù) 。 集 成 電 路 的 迅 速 發(fā) 展 ， 除 了 工 藝 技 術(shù) 、 設(shè) 備 、 原 材 料 等 方 面 的 不 斷 改進(jìn) 以 外 ， 采 用 計(jì) 算 機(jī) 輔 助 設(shè) 計(jì) （ CAD） 或 設(shè) 計(jì) 自 動(dòng) 化 （ DA） 技 術(shù) 也 是 重 要 的原 因 之 一 。 本 方 向 培 養(yǎng) 學(xué) 生 掌

24、 握 專 用 集 成 電 路 和 其 他 集 成 器 件 的 CAD技 術(shù) ， 包含 器 件 模 擬 、 電 路 設(shè) 計(jì) 、 版 圖 設(shè) 計(jì) 、 驗(yàn) 證 和 測(cè) 試 ； 掌 握 集 成 電 路 電 子 設(shè) 計(jì) 自 動(dòng)化 （ EDA） 軟 件 系 統(tǒng) 。 同 時(shí) 培 養(yǎng) 學(xué) 生 掌 握 工 藝 原 理 、 工 藝 設(shè) 備 原 理 和 制 造 方 法 。 近 年 來(lái) ， 除 了 在 學(xué) 校 “ 211工 程 ” 建 設(shè) 基 金 資 助 下 引 進(jìn) 了 可 實(shí) 現(xiàn) 全 定 制 集成 電 路 （ IC） 設(shè) 計(jì) 的 美 國(guó) Mentor公 司 EDA軟 件 工 具 外 （ 內(nèi) 含 版 圖 設(shè) 計(jì) 輸

25、入 、自 動(dòng) 布 線 及 版 圖 驗(yàn) 證 等 工 具 ） ， 我 系 技 術(shù) 物 理 所 “ EDA研 究 室 ” 積 極 加 強(qiáng) 同 國(guó)外 大 學(xué) 和 公 司 合 作 ， 先 后 獲 得 各 種 捐 贈(zèng) 的 價(jià) 值 約 400多 萬(wàn) 元 的 EDA工 具 ， 擁 有的 EDA工 具 與 國(guó) 內(nèi) 高 校 中 從 事 相 同 方 向 研 究 的 實(shí) 驗(yàn) 室 比 較 ， 相 對(duì) 齊 全 而 且 比 較先 進(jìn) ， 例 如 ： 復(fù) 旦 大 學(xué) 專 用 集 成 電 路 與 系 統(tǒng) 國(guó) 家 重 點(diǎn) 實(shí) 驗(yàn) 室 、 清 華 大 學(xué) 微 波 數(shù)字 通 訊 國(guó) 家 重 點(diǎn) 實(shí) 驗(yàn) 室 、 北 京 大 學(xué) 電 子

26、 設(shè) 計(jì) 自 動(dòng) 化 實(shí) 驗(yàn) 室 、 國(guó) 防 科 技 大 學(xué) 電 子 系 統(tǒng) CAD實(shí) 驗(yàn) 室 。 “ EDA研 究 室 ” 有 能 力 和 條 件 培 養(yǎng) 學(xué) 生 的 設(shè) 計(jì) 技 術(shù) 。 “ 薩本 棟 微 機(jī) 電 研 究 中 心 ” 、 “ 光 子 學(xué) 研 究 中 心 ” 和 我 系 的 “ 211重 點(diǎn) 實(shí) 驗(yàn) 室 ” 、 “ 半 導(dǎo) 體 實(shí) 驗(yàn) 室 ” 可 以 培 養(yǎng) 學(xué) 生 的 工 藝 制 造 技 術(shù) 。 3. 半 導(dǎo) 體 光 電 子 學(xué) 半 導(dǎo) 體 光 電 子 學(xué) 是 研 究 作 為 當(dāng) 今 和 未 來(lái) 信 息 社 會(huì) 的 兩 個(gè) 主 要 微 觀 信 息 體 ， 即光 子 和 電 子

27、 的 運(yùn) 動(dòng) 與 物 質(zhì) 的 相 互 作 用 及 其 信 息 的 產(chǎn) 生 、 傳 輸 、 接 收 、 處 理 、 存 儲(chǔ)和 加 工 的 科 學(xué) 。 它 在 信 息 領(lǐng) 域 中 具 有 響 應(yīng) 速 度 快 、 傳 輸 容 量 大 、 存 儲(chǔ) 密 度 高 、 誤碼 率 低 、 可 靠 性 好 、 并 易 于 集 成 、 微 型 化 等 一 系 列 明 顯 的 優(yōu) 點(diǎn) 。 它 是 當(dāng) 今 信 息 高科 技 發(fā) 展 的 主 流 之 一 和 熱 點(diǎn) 課 題 ， 它 將 與 微 電 子 技 術(shù) 相 輔 相 成 ， 直 至 互 相 滲 入 融為 一 體 。 本 方 向 可 以 作 為 培 養(yǎng) 學(xué) 生 了 解

28、 本 學(xué) 科 及 相 關(guān) 交 叉 學(xué) 科 的 新 成 就 的 一 個(gè) 重要 內(nèi) 容 。 LED和 光 伏 產(chǎn) 業(yè) 內(nèi) 容 什 么 是 微 電 子 學(xué) ？ 我 們 的 條 件 是 什 么 ？ 學(xué) 習(xí) 什 么 知 識(shí) ？ 畢 業(yè) 后 去 哪 里 ？ 物理系電子學(xué)專業(yè)大類教學(xué)計(jì)劃表（學(xué) 制 4 年） 微 電 子 學(xué) 專 業(yè) 方 向 性 課 程 半 導(dǎo) 體 物 理 半 導(dǎo) 體 器 件 物 理 集 成 電 路 原 理 與 設(shè) 計(jì) 集 成 電 路 CAD 微 電 子 學(xué) 專 業(yè) 實(shí) 驗(yàn) 微 電 子 學(xué) 專 業(yè) 方 向 性 必 修 課 程 半 導(dǎo) 體 材 料 微 電 子 制 造 科 學(xué) 原 理 微 電 子

29、學(xué) 專 業(yè) 方 向 性 任 選 課 電 子 設(shè) 計(jì) 算 法 與 數(shù) 據(jù) 結(jié) 構(gòu) 單 片 機(jī) 原 理 與 實(shí) 驗(yàn) 物 理 學(xué) 前 沿 專 題 微 電 子 專 業(yè) 實(shí) 驗(yàn) 微 電 子 學(xué) 專 業(yè) 實(shí) 驗(yàn) 是 微 電 子 學(xué) 專 業(yè) 學(xué) 生 的 基 礎(chǔ) 課 。 根 據(jù) 物 理系 半 導(dǎo) 體 實(shí) 驗(yàn) 室 的 基 礎(chǔ) ， “ 微 電 子 學(xué) 專 業(yè) ” 擬 安 排 以 下 幾 個(gè) 實(shí) 驗(yàn) : 名 稱 需 要 增 添 的 儀 器 設(shè) 備實(shí) 驗(yàn) 一 表 面 光 電 壓 法 測(cè) 量 硅 少 數(shù) 載 流 子 擴(kuò)散 長(zhǎng) 度 鎖 相 放 大 器實(shí) 驗(yàn) 二 用 橢 圓 偏 振 儀 測(cè) 量 半 導(dǎo) 體 表 面 介 質(zhì)薄

30、 膜 的 厚 度 和 折 射 率 橢 圓 偏 振 儀實(shí) 驗(yàn) 三 高 頻 MOS電 容 -電 壓 關(guān) 系 測(cè) 量 半 導(dǎo) 體 CV參 數(shù) 測(cè) 試 系 統(tǒng)實(shí) 驗(yàn) 四 硅 單 晶 中 晶 體 缺 陷 的 腐 蝕 顯 示 Olympus顯 微 鏡實(shí) 驗(yàn) 五 四 探 針 法 測(cè) 電 阻 率 四 探 針 電 阻 率 測(cè) 試 儀 實(shí) 驗(yàn) 六 真 空 鍍 膜 電 子 束 鍍 膜 機(jī) ， 磁 控 濺 射 臺(tái)實(shí) 驗(yàn) 七 熱 氧 化 氧 化 擴(kuò) 散 系 統(tǒng)實(shí) 驗(yàn) 八 二 氧 化 硅 光 刻 光 刻 機(jī)實(shí) 驗(yàn) 九 硼 擴(kuò) 散 氧 化 擴(kuò) 散 系 統(tǒng)實(shí) 驗(yàn) 十 晶 體 管 特 性 參 數(shù) 測(cè) 試 晶 體 管 IV圖 示

31、 儀實(shí) 驗(yàn) 十 一 超 凈 室 實(shí) 驗(yàn) 培 訓(xùn) （ 微 機(jī) 電 研 究 中 心 ） 內(nèi) 容 什 么 是 微 電 子 學(xué) ？ 我 們 的 條 件 是 什 么 ？ 學(xué) 習(xí) 什 么 知 識(shí) ？ 畢 業(yè) 后 去 哪 里 ？ 微 電 子 產(chǎn) 業(yè) 是 當(dāng) 今 世 界 上 最 富 有 生 命 力 、 增 長(zhǎng) 最 為 迅速 的 產(chǎn) 業(yè) 之 一 ， 是 現(xiàn) 代 工 業(yè) 的 基 礎(chǔ) 60年 代 開(kāi) 始 ， 經(jīng) 歷 了 半 個(gè) 世 紀(jì) 的 發(fā) 展 ， 半 導(dǎo) 體 微電 子 應(yīng) 用 已 深 入 到 國(guó) 民 經(jīng) 濟(jì) 及 軍 事 應(yīng) 用 的 各 個(gè) 領(lǐng) 域 ，微 電 子 技 術(shù) 的 發(fā) 展 日 新 月 異 ， 使 電 子

32、 工 業(yè) 發(fā) 生 了 革 命性 的 變 化 ， 對(duì) 整 個(gè) 人 類 產(chǎn) 生 了 巨 大 的 影 響 。 當(dāng) 世 界 進(jìn)入 2 1 世 紀(jì) 的 今 天 ， 人 類 進(jìn) 入 了 以 微 電 子 為 基 礎(chǔ) 、 計(jì) 算機(jī) 為 核 心 、 光 纖 和 衛(wèi) 星 通 訊 為 先 導(dǎo) 的 信 息 時(shí) 代 。 世 界上 發(fā) 達(dá) 國(guó) 家 都 競(jìng) 相 發(fā) 展 和 提 高 信 息 技 術(shù) 水 平 ， 大 力 發(fā)展 信 息 產(chǎn) 業(yè) ， 特 別 是 微 電 子 產(chǎn) 業(yè) ， 從 而 獲 得 巨 大 的 經(jīng)濟(jì) 利 益 。 微 電 子 產(chǎn) 業(yè) 是 當(dāng) 今 世 界 上 最 富 有 生 命 力 、 增長(zhǎng) 最 為 迅 速 的 產(chǎn)

33、業(yè) 之 一 。 福 建 廈 門(mén) 地 區(qū) 的 微 電 子 產(chǎn) 業(yè)我 校 位 于 東 南 沿 海 開(kāi) 放 城 市 福 建 廈 門(mén) 。 這 個(gè) 地 區(qū)的 微 電 子 產(chǎn) 業(yè) 正 在 蓬 勃 興 起 。福 建 建 立 了 國(guó) 家 級(jí) 的 閩 東 南 電 子 與 信 息 產(chǎn) 業(yè) 基 地 ， 政府 批 準(zhǔn) 在 福 州 大 學(xué) 和 廈 門(mén) 大 學(xué) 分 別 成 立 了 集 成 電 路 設(shè)計(jì) 中 心 ， 并 已 計(jì) 劃 投 入 大 量 的 資 金 支 助 。廈 門(mén) 市 又 是 臺(tái) 灣 微 電 子 技 術(shù) 進(jìn) 入 大 陸 的 前 沿 陣 地 。 廈門(mén) 經(jīng) 濟(jì) 特 區(qū) 的 長(zhǎng) 遠(yuǎn) 規(guī) 劃 是 發(fā) 展 成 為 教 育

34、 城 、 信 息 港 和電 子 城 ， 政 府 對(duì) 發(fā) 展 微 電 子 產(chǎn) 業(yè) 給 予 高 度 的 重 視 和 大力 的 支 持 ， 制 定 了 許 多 優(yōu) 惠 政 策 。 已 興 辦 了 微 電 子 集成 研 究 中 心 ， 微 電 子 科 技 園 、 元 順 微 電 子 公 司 、 三 安電 子 公 司 、 華 聯(lián) 電 子 公 司 等 等 微 電 子 產(chǎn) 業(yè) 公 司 。 福 順 公 司 已 在 福 州 建 立 了 6 英 寸 片 的 集 成 電 路 生 產(chǎn) 線 ， 集 順 公 司 正 在 廈 門(mén) 集 美 籌 建 年 產(chǎn) 3 6 萬(wàn) 6 英 寸 片 的 0 .3 5 - 0 .8 微 米 集

35、 成 電 路 生 產(chǎn) 線 。 廈 門(mén) 市 已 成 為 國(guó) 家 照 明 工 程 基 地 之 一 。 廈 門(mén) 有 良 好 的 整 機(jī) 產(chǎn) 業(yè) ， 大 大 小 小 的 電 子 企 業(yè) 逾 百家 ， 如 廈 華 公 司 、 廈 新 公 司 、 Dell公 司 等 電 子 企 業(yè) ，有 些 企 業(yè) 的 小 家 用 電 器 產(chǎn) 量 在 世 界 上 可 以 說(shuō) 是 數(shù) 一 數(shù)二 ， 但 是 缺 少 專 用 集 成 電 路 芯 片 開(kāi) 發(fā) 的 能 力 ， 主 要 原因 是 缺 乏 這 方 面 的 人 才 。 畢 業(yè) 后 的 去 向 福 建 省 關(guān) 于 進(jìn) 一 步 促 進(jìn) LED和 太 陽(yáng) 能 光 伏 產(chǎn) 業(yè)

36、發(fā)展 的 行 動(dòng) 方 案 （ 2 0 0 9 2 0 1 4 年 ） 2 0 0 8 年 全 省 LED和 太 陽(yáng) 能 光 伏 產(chǎn) 業(yè) 實(shí) 現(xiàn) 產(chǎn) 值 約 1 0 0 億 元 ， 其 中LED產(chǎn) 值 約 7 0 億 元 、 太 陽(yáng) 能 光 伏 產(chǎn) 值 約 3 0 億 元 。 全 省 LED和 太 陽(yáng) 能 光 伏 企 業(yè) 已 超 過(guò) 2 0 0 家 ， 生 產(chǎn) 產(chǎn) 品 涵 蓋 LED外 延 、芯 片 生 產(chǎn) 、 LED器 件 及 配 套 材 料 、 LED道 路 照 明 、 LED背 光 源 、LED屏 幕 顯 示 等 應(yīng) 用 產(chǎn) 品 ； 多 晶 硅 、 單 晶 硅 、 薄 膜 太 陽(yáng) 能 電

37、池 及組 件 、 太 陽(yáng) 能 光 伏 LED應(yīng) 用 產(chǎn) 品 等 。 總 產(chǎn) 量 占 全 國(guó) 3 0 %以 上 推 進(jìn) 產(chǎn) 學(xué) 研 合 作 ， 加 快 產(chǎn) 業(yè) 人 才 培 養(yǎng)支 持 省 內(nèi) 高 等 院 校 開(kāi) 設(shè) 光 電 子 專 業(yè) 和 專 業(yè) 技 能 課 程 ， 為 我 省 培 養(yǎng)光 電 專 業(yè) 人 才 和 高 技 能 人 才 。 全 國(guó) 有 6 0 0 0 家 LED產(chǎn) 業(yè) ， 7 0 0 億 產(chǎn) 值 ， 并 以 4 0 %以 上 速 度 增 長(zhǎng) 福 順 公 司 已 在 福 州 建 立 了 6 英 寸 片 的 集 成 電 路 生 產(chǎn) 線 ， 集 順 公 司 正 在 廈 門(mén) 集 美 籌 建 年

38、 產(chǎn) 3 6 萬(wàn) 6 英 寸 片 的 0 .3 5 - 0 .8 微 米 集 成 電 路 生 產(chǎn) 線 。 廈 門(mén) 市 已 成 為 國(guó) 家 照 明 工 程 基 地 之 一 。 廈 門(mén) 有 良 好 的 整 機(jī) 產(chǎn) 業(yè) ， 大 大 小 小 的 電 子 企 業(yè) 逾 百家 ， 如 廈 華 公 司 、 廈 新 公 司 、 Dell公 司 等 電 子 企 業(yè) ，有 些 企 業(yè) 的 小 家 用 電 器 產(chǎn) 量 在 世 界 上 可 以 說(shuō) 是 數(shù) 一 數(shù)二 ， 但 是 缺 少 專 用 集 成 電 路 芯 片 開(kāi) 發(fā) 的 能 力 ， 主 要 原因 是 缺 乏 這 方 面 的 人 才 。 內(nèi) 容 什 么 是 微 電

39、 子 學(xué) ？ 我 們 的 條 件 是 什 么 ？ 畢 業(yè) 后 去 哪 里 ？ 學(xué) 習(xí) 什 么 知 識(shí) ？ 廈門(mén)大學(xué)薩本棟微機(jī)電研究中心 實(shí)驗(yàn)室設(shè)施： 具備體硅機(jī)械技術(shù)、表面硅機(jī)械技術(shù)和集成電路技術(shù)所需要的基本條件，可以開(kāi)展一些MEMS中的單個(gè)微型結(jié)構(gòu)、微型傳感器及微型電機(jī)的研制，也可以開(kāi)展一些微機(jī)械、微執(zhí)行器、微傳感器與中小規(guī)模微電子線路合為一體的MEMS的研制。 4473 四 管 微 控 擴(kuò) 散 爐4371-LPCVD 低 壓 化 學(xué) 汽 相 沉 積 系 統(tǒng) PECVD-2型 等 離 子 體 淀 積 臺(tái) ICP-2B刻 蝕 機(jī) JC500-3/D磁 控 濺 射 鍍 膜 機(jī) JS-3X-100

40、B 磁 控 濺 射 臺(tái) Karlsuss MA6/BA6光 刻 鍵 合 對(duì) 準(zhǔn) 機(jī)ZXS-500A 電 子 束 鍍 膜 機(jī) 純 水 間 氮 /氧 /氬 純 化 系 統(tǒng) 廢 氣 /水 處 理 C63 200/TJ 硅 片 拋 光 機(jī)單 頭 精 縮 機(jī)X61 385-1B 硅 片 磨 片 機(jī) 初 縮 機(jī) 精 縮 機(jī) 四 探 針 電 阻 測(cè) 試多 頭 探 針Dektak 3 測(cè) 厚 儀 Olympus OLS1200激 光 掃 描共 聚 焦 顯 微 鏡 Nikon L150金 相 顯 微 鏡 Keithley4200-SCS半 導(dǎo) 體 參 數(shù) 測(cè) 試 儀Keithley590 C-V測(cè) 試 儀 設(shè)計(jì)

41、室基礎(chǔ)設(shè)施:設(shè) 計(jì) 室 為 校 內(nèi) 師 生 提 供 MEMS和 IC計(jì) 算機(jī) 輔 助 設(shè) 計(jì) 的 工 作 平 臺(tái) 。目 前 設(shè) 計(jì) 室 由 一 個(gè) 服 務(wù) 器 機(jī) 房 和 一 個(gè)專 業(yè) 設(shè) 計(jì) 室 組 成 .擁 有 聯(lián) 想 1800高 性 能 服 務(wù) 器 1臺(tái) ， SUNBlade工 作 站 10臺(tái) , DELL工 作 站 1臺(tái) 。 MEMS設(shè) 計(jì) 軟 件 方 面 有 ANSYS/MEMS Pro (基 于 ANSYS公 司 多 物 理 場(chǎng) 分 析 工 具 和Tanner公 司 IC設(shè) 計(jì) 工 具 基 礎(chǔ) 上 的 一 套 設(shè)計(jì) 工 具 )和 CoventorWare。 IC設(shè) 計(jì) 軟 件 方

42、面 有 美 國(guó) Mentor Graphic公 司 的 IC Station； Tanner EDA工 具 ； 華 大 EDA工 具 （ Panda 2000） 。 主要設(shè)備:光子學(xué)研究中心 激 光 誘 導(dǎo) 雙 生 長(zhǎng) 室 UHV-CVD生 長(zhǎng) 系 統(tǒng) 分 子 束 外 延 薄 膜 生 長(zhǎng) 及表 征 系 統(tǒng) 物 理 系 有 微 電 子 研 究 室 和 專 門(mén) 化 實(shí) 驗(yàn) 室 ， 還 有 技 術(shù)物 理 研 究 所 ， 該 所 的 電 子 電 路 自 動(dòng) 化 設(shè) 計(jì) （ EDA） 研究 室 擁 有 一 些 世 界 上 最 先 進(jìn) 的 集 成 電 路 設(shè) 計(jì) 開(kāi) 發(fā) 設(shè) 備和 軟 件 工 具 。 （

43、一 ） “ 2 1 1 工 程 ” 重 點(diǎn) 實(shí) 驗(yàn) 室 、 半 導(dǎo) 體 發(fā) 光 教 研 室 和 半 導(dǎo) 體 物 理 與 器 件 物 理 教研 室 擁 有 的 主 要 儀 器 設(shè) 備 （ 二 ） 、 EDA研 究 室 擁 有 的 主 要 軟 件 工 具 和 設(shè) 備 1 0 套 美 國(guó) Xilinx公 司 的 Foundation Series 1 .4 （ 含 有EDA環(huán) 境 管 理 、 原 理 圖 及 HDL設(shè) 計(jì) 與 仿 真 調(diào) 試 、 時(shí) 序 仿 真 工 具FPGA Express工 具 、 自 動(dòng) 電 路 布 板 工 具 等 ） 10套 FPGA和 2套 CPLD的 開(kāi) 發(fā) 仿 真 板 10套 韓 國(guó) CSIEDA公 司 的 電 路 板 設(shè) 計(jì) 工 具 2 . Sum工 作 站 兩 套 3 . 各 種 微 型 計(jì) 算 機(jī) 幾 十 臺(tái) 謝 謝 ！