微型數(shù)控銑床結構設計

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微型立式數(shù)控銑床結構設計學 院： 專業(yè)、 班級： 學 生 姓 名： 指導教師（職稱）： 完 成 日 期： 微型立式數(shù)控銑床結構設計指導教師： 評 閱 人： 完成時間： I摘 要微細切削加工技術作為重要的軍民兩用技術，己經(jīng)成為現(xiàn)代科技研究的前沿課題之一。微細切削加工技術區(qū)別于 MEMS 技術和超精密加工技術，是利用傳統(tǒng)加工方式針對微米級以下小零件進行高效率、高精度的微細制造。為了降低機床成本、提高加工效率、減少能耗，國內外正在發(fā)展微型機床和微型工廠。本文在大量查閱國內外資料的基礎上，經(jīng)過分析和比較，設計并構建了一臺專用于微細銑削加工的微型立式數(shù)控銑床系統(tǒng)。完成了微型數(shù)控銑床總體方案設計，確立了機床的整機結構、總體布局以及關鍵部件(控制系統(tǒng)、主軸系統(tǒng)、進給系統(tǒng)、精密臺鉗系統(tǒng)、刀具冷卻系統(tǒng)、加工環(huán)境系統(tǒng)、夾具體和機床底座等)的選型與設計，研發(fā)出采用陶瓷球軸承油氣潤滑高速電主軸、直線電機十精密光柵尺的進給伺服系統(tǒng)以及基于 IPC 的三軸運動控制的微型立式數(shù)控銑床。微型銑床整機結構設計對加工精度影響顯著，整機結構設計將直接影響整個微型銑床的加工精度。本文對微型數(shù)控銑床的主要部件進行選型分析，對整機在結構設計上能否滿足加工精度設計要求進行了校驗，成功設計了一臺微型立式數(shù)控銑床。結果證明所設計的微型銑床能夠實現(xiàn)微米級的進給，能夠滿足后續(xù)微細銑削加工的研究。關鍵詞：微型銑床；進給系統(tǒng)；立式結構設計；3DIIABSTRACTThe applications of micro-cutting technique on precision machining of three-dimensional small parts have created a great technology revolution of the micro-cutting field. Different from MEMS technique and ultra-precision machining technique, micro-cutting technique is an efficient method to carry out high productivity and high precision micro manufacture for micron and meso scale miniaturized parts with traditional machining methods. Ultra-precision machine tool is an important equipment to conduct micro-cutting. However, the domestic development on custom machine used for micro-cutting is still at the initial stage and there is a lack of embed research from machinery system design to micro-cutting mechanism analysis. Based on the extensive referring to domestic and external information, After analysis and comparison,a 3-axis linked miniature CNC milling machine tool system was successfully constructed for manufacturing of micro products. The overall scheme design of the micro NC milling machine is completed and the whole structure of the machine tool, the overa layout, also the selections and design of the key components(control system, spindle system, feeding system, precision bench vice system, tool cooling system, the processing environment system, fixture and machine base, etc) are established. Milling machine tool which uses the feed servo system of “high-speed spindle of ceramic ball bearings and oil lubrication, Linear Motor +precision grating scale“ scheme and the IPC-based three-axis motion control CNC system is developed. The whole structure design of the micro-machine tool has a significant effect on machining accuracy and the structure design of the whole machine can directly affect the machining precision of the whole micro-milling machine tool.In this paper, the selection and design of the micro milling machine key parts has been done, and whether the whole machine's structural design can meet the machining precision requirement ischecked.Successful design of a micro-vertical CNC milling machine, the results show that the developed micro-milling machine can achieve micron-level feed and meet the following study of micro-milling machining.IIIKey Words：Micro-milling machine; Feeding system; Vertical structure design ;3DI目 錄摘 要 ⅠABSTRACT.Ⅱ1 緒論 11.1 微型機床研究背景及意義 11.2 微型機床國內外發(fā)展現(xiàn)狀 11.3 本課題研究的主要內容 62 微型立式數(shù)控銑床的總體設計方案 72.1 微型立式數(shù)控銑床的基本參數(shù) 72.2 微型立式數(shù)控銑床的布局形式 82.3 微型立式數(shù)控銑床的整體結構方案 93 微型立式數(shù)控銑床各系統(tǒng)選型及配置 .113.1 電主軸子系統(tǒng) 113.2 工作臺驅動子系統(tǒng) 133.3 精密臺鉗子系統(tǒng) 163.4 刀具冷卻子系統(tǒng) 174 微型立式數(shù)控銑床各部件的校核與設計 .194.1 夾具體設計與校核 204.2 銑床防護罩的設計 22II4.3 銑床底座的設計 235 其他輔助系統(tǒng)設計 .255.1 隔離振動方案系統(tǒng) 255.2 在線監(jiān)測系統(tǒng) 256 微型立式數(shù)控銑床總體結構設計 .277 結論 29致 謝 30參考文獻 31附錄 A：外文翻譯 32附錄 B：外文原文 38微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 1 -1 緒論1.1 研究的背景意義隨著航空航天、國防工業(yè)、微電子行業(yè)、現(xiàn)代醫(yī)學以及生物工程技術的發(fā)展，精密/超精密三維微小零件(尺寸特征在微米到毫米級)的需求日益迫切。其結構形狀的特異化、零件材料的多樣化、尺寸及表面質量的高精度化成為三維微小零件及其微型裝置設備的顯著特征，在使用功能、材料特性、結構形狀、可靠性等方面的要求也越來越高。微細加工就是一種介于普通宏觀機床加工和 MEMS 制造之間的一種技術。簡單來說，微細加工就是用微型機床來加工微小零件，被加工零件的尺寸在100μm 和 lOmm 之間，利用微型機床加工微小零件在結構成型和材料多樣性方面有獨特的優(yōu)勢。微型機床不僅有助于提高空間利用率和降低成本，而且由于慣性減小，從而容易達到高速加工和高精度運動控制。目前許多由金屬材料制成的精密三維微小零件，都是利用常規(guī)尺寸的精密與超精密機床加工成的。這些機床主要用于加工高精度的宏觀幾何尺寸零件，而對生產微小零件則成本高、效率低、靈活性差。因此，微型機床及其組成的系統(tǒng)日益成為解決上述矛盾的一項新技術。因此，對微型機床及微細銑削加工技術的研究具有重要的理論意義和實際應用前景。1.2 微型機床的國內外發(fā)展現(xiàn)狀微型機械制造系統(tǒng)被譽為 20 世紀 10 大關鍵技術之首。MMT 是屬于微小型機械制造系統(tǒng)的重要組成部分，是連接微觀和宏觀制造領域的技術橋梁，是 21 世紀的重點發(fā)展方向，受到世界各國的高度重視。日本、美國和歐洲等發(fā)達國家都投入了大量的人力、物力和財力開展 MMT 方面的研制與開發(fā)。日本是較早開發(fā)微小型加工單元的國家。1990 年，日本通產省機械技術研究所(MEL)首先提出了桌面微工廠(DesktopMicro-factory)的概念，并于1999 年制成了世界上第一套桌面微工廠(圖 1.1)，由車床、銑床、沖壓床、微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 2 -搬運機械手和裝配用機械手組成。桌面式微工廠的概念強調體積小巧并可以應用先進的制造技術加工微小零件的能力，特別具有節(jié)能、環(huán)保等優(yōu)勢，是綠色制造的發(fā)展方向之一。圖 1.1 日本通產省機械技術研究所的桌面微工廠日本產業(yè)技術綜合研究所(AIST)于 1998 年主導進行 Micro Factory 開發(fā)計劃(投入 250 億日元)開發(fā)出當時世界上最小的車床，2000 年“科學技術周”期間又展示了手提式微小型加工系統(tǒng)，該系統(tǒng)是集車削、磨削、鉆削、沖壓及搬運機械手于一體的桌面式微小零件制造系統(tǒng)，驗證了“微小機床加工微小零件”的可行性，日本 NANO 株式會社于 2005 年研制成 NANOWAVE 超小型精密 CNC 機床(圖 1.2)。微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 3 -圖 1.2 日本 NANO 株式會社研制成 NANOWAVE 超小型精密 CNC 機床美國 WTEC (Word Technology Evaluation Center, Inc.)和NSF（National Science Foundation)等機構于 2002 年共同出資，針對國際上 Non-MEMS 微型加工技術研究發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢組成考察團進行詳細調研，并于 2005 年形成分析報告，調查分析報告指出，Non-MEMS 微制造技術將成為 21 世紀重要的新技術，它是連接微觀與宏觀制造領域的橋梁技術，是改變傳統(tǒng)加工理念(加工時間、地點、方式)的技術，是改變生產力分配方式的技術(微制造可成為家庭手工業(yè))，它是增強美國競爭優(yōu)勢的戰(zhàn)略性技術。美國佐治亞理工學院、麻省理工學院、加州大學伯克利分校、密西根大學、威斯康辛大學等都針對微小制造系統(tǒng)開展了廣泛的研究，一些研究成果已成功用于航空航天、生物醫(yī)療等領域。西北大學和伊利諾伊斯大學研制的微小型車床，其主軸轉速可達到 200, 000 rpm。微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 4 -圖 1.3 美國西北大學研制的微小車床圖 1.4 威斯康辛大學研制的微小車床微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 5 -圖 1.5 美國密西根大學研制的微小車床我國微型機械研究的起步并不算晚, 1988 年國家自然科學基金委批準東南大學靜電微馬達方面研究的基金申請，從此開始了微型機械某些領域的研究。南京航空航天大學、哈爾濱工業(yè)大學、北京航空精密機械研究所、清華大學等針對微小型機床都開展了積極研究。時至今日，在微小型制造、微小型切削技術方面國內一些單位的研究工作卓有成效，取得了可喜的成就。北京航空航天大學的邱時前等開發(fā)了一臺由高速電主軸、精密轉臺、精密直線運動平臺和基于 PC 的 PMAC 運動控制卡組成的五坐標微銑削機床，并開發(fā)了可編輯和執(zhí)行 G 代碼程序的數(shù)控系統(tǒng)；利用該機床進行了薄壁、直槽和牙冠體加工實驗，對薄壁和直槽加工實驗結果進行了分析。如圖 1.6 所示，機床本體尺寸為 900mm×700mm×800mm 有用大理石底座。進給驅動系統(tǒng)由三軸超高精度直線運動軸和兩軸直接驅動轉臺組成，XYZ 各軸的行程為102mm，分辨率為 100nm，定位精度士 0.5um。電主軸型號為 NSKE402-N40，最大輸出功率 210w，轉速范圍為 2000～40000r/min，最大力矩 6.9 ，Ncm?跳動量小于 O.lum。微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 6 -圖 1.6 北京航空航天大學研制的微型機床上海交通大學振動國家重點實驗室與機械系統(tǒng)和美國密西根大學吳賢銘先進制造中心在分析微細銑削加工要求和成形條件的基礎上，共同設計制造了一臺三自由度介觀尺度微型銑床，如圖 1.7 所示，系統(tǒng)采用臥式結構，總體尺寸為 270mm×190mm×220mm，加工范圍為 30×30×30mm3;，具有系統(tǒng)剛度高和定位精度高等優(yōu)點。其定位系統(tǒng)為傳統(tǒng)電動機絲杠定位，定位精度達1.62um，分辨率可達 50nm，重復定位精度 0.313um，工作行程為 30mm，X 向直線度士 0.159 um，Y 向直線度士 0.328 um，系統(tǒng)采用氣動馬達，主軸跳動度在 1 um 以內，最高轉速為 120kr/min。微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 7 -圖 1.7 上海交通大學研制的微型機床綜合國內外桌面式微小機床的研究情況，當代微小機床的研究主要集中于以下幾個方面：1)微切削應用技術包括微型零件切削加工裝備關鍵技術，主要是高速主軸系統(tǒng)，精密工作臺的定位、運動及控制技術復合微切削加工設備與技術；微切削刀具材料和道具制作技術；微切削刀具、工件的快速裝夾、測試及微切削加工過程的監(jiān)控技術。2)微切削機理主要是熱—力藕合應力作用下的微切削不均勻變形場，微尺度下工件材料的本構方程，微切削變形區(qū)的尺寸效應、不均勻應變、位錯等對剪切變形應力和剪切變形能的影響；最小切削厚度對切屑形態(tài)、已加工表面形成、切削力、切削溫度等的影響，及工件材料微觀組織結構對表面粗糙度和次表面損傷的影響，微切削加工理論和技術體系；多尺度微細切削模擬仿真技術。3)微切削工藝研究包括各種新材料如鋼鐵、鈦合金、不銹鋼、鋁合金、陶瓷和其他非金屬材料以及各種復合材料的微切削加工工藝，微切削 CAD/CAM 技術。4)實用化微制造系統(tǒng)的設計原理方法與相關應用技術的研究。1.3 本課題研究的主要內容1)微型立式數(shù)控銑床主要技術參數(shù)的確定。2)設計研究滿足微細銑削加工要求和成形條件的微型機床系統(tǒng)，包括對微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 8 -系統(tǒng)的結構設計和各子系統(tǒng)設備選型與研發(fā)，最后完成了微型數(shù)控銑床的搭建。3)微型立式數(shù)控銑床的電主軸夾具體校核、分析。微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 9 -2 微型立式數(shù)控銑床的總體設計方案2.1 微型立式數(shù)控銑床的基本參數(shù)機床設計的初始，首先需確定有關參數(shù)，它們是傳動設計和進給設計的依據(jù)，影響到產品是否能滿足所需要的功能要求，因此，參數(shù)擬定是機床設計中的重要問題。機床參數(shù)有主要參數(shù)和基本參數(shù)。主參數(shù)是最重要的，它直接反映機床的加工能力、特性、決定和影響其他基本參數(shù)的數(shù)值。如銑床的工作臺寬度等?；緟?shù)是一些與加工工件尺寸、機床結構、運動和動力特性有關的參數(shù)?？蓺w納為：尺寸參數(shù)、運動參數(shù)和動力參數(shù)。立式微型數(shù)控銑床的技術參數(shù)如表 1 所示：110mm×165mm×190mm表 2.1 微型立式數(shù)控銑床參數(shù)表項目 技術參數(shù) 技術指標床身本體結構加工能力微型銑床整體尺寸立式三軸聯(lián)動540mm×460mm×550mm進給伺服系統(tǒng)行程（工作空間）最大速度定位精度重復定位精度分辨率110mm×110mm×190mm50mm/s1μm0.2μm20nm微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 10 -電主軸最高轉速徑向跳動動平衡精度軸承形式140000r/min0.2μmG0.4陶瓷球軸承，油氣潤滑2.2 微型立式數(shù)控銑床的布局形式立式數(shù)控銑床是數(shù)控銑床中數(shù)量最多的一種，應用范圍也最為廣泛。微型數(shù)控銑床一般都采用工作臺移動、升降及主軸轉動方式，與普通立式升降臺銑床結構相似；中型立式數(shù)控銑床一般采用縱向和橫向工作臺移動方式，且主軸沿垂直溜板上下運動；大型立式數(shù)控銑床，因要考慮到擴大行程、縮小占地面積及剛性等技術問題，往往采用龍門架移動式，其主軸可以在龍門架的橫向與垂直溜板上運動，而龍門架則沿床身作縱向運動。從機床數(shù)控系統(tǒng)控制的坐標數(shù)量來看，目前 3 坐標立式數(shù)控銑床仍占大多數(shù)。一般可進行3 坐標聯(lián)動加工，但也有部分機床只能進行 3 坐標中的任意 2 個坐標聯(lián)動加工。此外，還有機床主軸可以繞 X, Y, Z 坐標軸中其中一個或兩個軸作數(shù)控擺角運動的 4 坐標和 5 坐標立式數(shù)控銑床。一般來說，機床控制的坐標軸越多，特別是要求聯(lián)動的坐標軸越多，機床的功能、加工范圍及可選擇的加工對象也越多。但隨之而來的是機床的結構更復雜，對數(shù)控系統(tǒng)的要求更高，編程的難度更大，設備的價格也更高。圖 2.1 所示是立式數(shù)控銑床常見的三種布局形式。由溜板和工作臺實現(xiàn)平面上 X, Y 兩個坐標軸的移動，主軸箱沿立柱導軌上下實現(xiàn) Z 坐標移動。微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 11 -（a） （b） (c)圖 2.1 立式微型銑床的常用布局形式綜上所述，考慮微型銑床應用的廣泛性以及所作相關的項目的實際情況，本設計采用的是(a)所示的工作臺 X, Y 軸相互疊加移動，電主軸在 Z 軸方向上移動的布局形式。為了實現(xiàn)亞微米級進給精度的銑刀銑削加工 3D 微小金屬零件，通過調研，微型立式數(shù)控銑床選用了基于商品化的六個子系統(tǒng):1)微型數(shù)控銑床控制系統(tǒng)；2)基于旋轉刀具的主軸系統(tǒng)；3)工件的進給系統(tǒng)；4)加持工件的精密臺鉗子系統(tǒng)；5)刀具冷卻子系統(tǒng)；6)加工環(huán)境控制子系統(tǒng)等。這六大子系統(tǒng)通過分析最終確定其型號。2.3 微型立式數(shù)控銑床的整體結構方案數(shù)控銑床應滿足以下要求：良好的靜、動剛度；較小的熱變形；機床各進給運動有良好的低速性能；機床結構布局應有良好的人機關系（如面板、操作臺位置布局等）和較高的環(huán)保標準。這里設計的三軸數(shù)控微小銑床的總體結構布局應按上述要求，既能滿足機床性能、加工適應范圍等內部因素考慮確定各機構位置，同時亦滿足從外觀、操作、管理到人機關系等外部因素考慮安排機床總體布局。微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 12 -在微細銑削過程中，銑削需要兩個運動，主運動即刀具的旋轉運動及進給運動。微細銑削必須能夠加工不同厚度的微小零件，這就需要微小銑床的主軸能夠在垂直方向上可以調整，水平方向有相對運動；垂直方向上采用主軸的升降來實現(xiàn)，而對于水平方向相對于主軸的運動是為了實現(xiàn)一定的加工長度，這可以用工作臺的運動來實現(xiàn)，再加上主軸的自身的旋轉，所以整個微小銑床需要有四個自由度，分別為 X 方向、Y 方向、Z 方向和主軸的旋轉運動 n。圖 2.2 為微小銑床運動模型圖。X主Y主 Z主n主圖 2.2 微型立式銑床運動模型圖本設計主要目標是構建一臺適用于微小零件微細銑削的微型數(shù)控銑床，機床采用立式三坐標結構配置，X,Y 二維工作臺帶動工件實現(xiàn) X,Y 兩個方向的直線運動；垂直布置的 Z 向工作臺帶動安裝于其上的高速銑削電主軸子系統(tǒng)作上下的直線運動，互不干擾。為了提高結構的動剛度，在保證靜剛度的前提下，選擇阻尼系數(shù)大的材料——人造花崗巖作為微型銑床的底座材料。為了減少運動部件的重量和傳動系統(tǒng)的慣量，三軸工作臺的外殼均選用比重小的鋁合金材料作為運動部件的結構材料。三軸伺服電機及電主軸的采用簡化了傳動系統(tǒng)，縮短了傳動鏈，提高了機床的運動品質。微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 13 -鑒于所采用的電主軸尺寸和重量較小，被加工零件的尺寸、重量以及加工時的切削力也較小，故該微型銑床設計成水平 X,Y 工作臺疊加的進給平臺結構，刀具安裝在電主軸上，隨 Z 軸一起上下移動。按照結構示意圖 2.3 所示的結構，須保證 X,Y,Z 三個運動軸相互正交，主軸的回轉精度平行于 Z 軸。ZXY圖 2.3 立式微型數(shù)控銑床結構示意圖微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 14 -3 微型立式數(shù)控銑床各系統(tǒng)選型及配置3.1 電主軸子系統(tǒng)考慮到微細銑削加工過程中的銑刀、零件尺寸和切削力都較小，同時為了實現(xiàn)高精度運動控制和高效率的加工，在選擇微細銑床組件的過程中不可避免的會出現(xiàn)一些新的問題。比如，采用直徑 O.5mm 的銑刀銑削硬鋁，常用的每齒進給量約為 5μm，當主軸轉速在 60000r/min 以上時，此時進給速度應為 10mm/s～20mm/s，因此選擇何種主軸技術以達到超高轉速的同時保證較小的主軸跳動量，是實現(xiàn)微細銑削的關鍵因素之一。針對研究需要和微細銑削加工的特點，其所選用的主軸需要很高的轉速，較高的剛度和回轉精度。本設計采用高速電主軸作為該銑床的主軸。電主軸技術，即:機床主軸與電機軸合二為一，近些年數(shù)控機床領域出現(xiàn)的一種新技術。電主軸技術的關鍵在于將主軸電機的定子、轉子直接裝入主軸組件的內部，動力傳遞不再使用齒輪傳動副或皮帶。電主軸具有結構緊湊、慣性小、重量輕、動態(tài)特性好、調速范圍廣等優(yōu)點，電主軸的產生和應用，改善了機床的動平衡，減少了機床振動和噪聲，在超高速高精密數(shù)控加工中應用廣泛。遵循高回轉精度、高剛度、高轉速、小尺寸和低成本的選型原則，微型數(shù)控銑床選用瑞士 IBAG 公司生產的具有剛性好的陶瓷球軸承支撐小型電主軸，其型號為 HF42S120C，如圖 3.1 所示，其主要性能參數(shù)如表 3.1 所示。 微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 15 -圖 3.1 HF42S120C 型電主軸表 3.1 HF42S120C 型電主軸性能參數(shù)另外，該電主軸配有油氣潤滑冷卻裝置，可保證其在高轉速的狀態(tài)下順利運行，并能帶走因摩擦所產生的熱量，同時，還配有冷卻水冷卻電主軸裝置，通過水循環(huán)帶走電主軸產生的熱量。另外，電主軸配有 ER8 的夾頭，可裝夾刀柄直徑為 1-5mm 的刀具，該夾頭具有較高的接觸剛度和重復定位精度，微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 16 -并具有良好的高速鎖緊性。其油氣潤滑和噴注潤滑原理如圖 3.2、圖 3.3 所示。主主主 主主主 主 主主主主主 MMM主主主主主主主 主主主主主主主 主主主主主主主主主圖 3.2 油氣潤滑原理 圖 3.3 噴注潤滑原理3.2 工作臺驅動子系統(tǒng)對于銑床進給系統(tǒng)，由于刀具尺寸的縮小和主軸轉速的提高，實際加工中走刀軌跡復雜程度提高，要求驅動單元具有較高的加工速度和加減速度，傳統(tǒng)的滾珠絲杠加旋轉電機的驅動方式顯然難以滿足需要，直線電機省略了中間傳動環(huán)節(jié)，采用電磁力推動，加工過程中可以實現(xiàn)高速精確跟蹤，不失為一種較好的驅動方式。直線電機具有的結構簡單、反應速度快、靈敏度高、工作穩(wěn)定可靠，壽命長、結構敞開性好，散熱效果較好、有精密的定位和自鎖能力、行程長度不受限制等特點，所以選用直線電機作為微型銑床工作臺驅動系統(tǒng)。由于直流電機易于調速，以往直線電機用作伺服電機主要是采用直流電機。但是交流直線電機有結構簡單、成本低廉、無電刷磨損、維修方便等優(yōu)點，隨著交流伺服技術(變頻調速技術、矢量控制技術)的發(fā)展，交流直線電機近年來在直線運動單元中得到越來越多的應用。微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 17 -目前在直線運動單元上應用的主流是感應式直線交流伺服電機和永磁式直線交流伺服電機，它們各有優(yōu)缺點。表 3.2 給出了兩種直線電機的主要性能比較。表 3.2 感應式和永磁式直線電機的主要特性對比電機類型 永磁式 感應式單位面積電磁推力 大 小效率 高 低磁極位置傳感器 要 不要運動平穩(wěn)性 好 較好可控性 好 較差動力制動 可能 無對氣隙的要求 低 高永磁式直線電機在單位面積推力、效率、功率因素、可控性、運動平穩(wěn)、位置精度等方面均優(yōu)于感應式直線電機，所以本設計采用三相永磁無刷電機。本設計的微型銑床的 X、Y 軸定位系統(tǒng)選用臺灣大銀科技公司生產的 XY線性馬達平臺，如圖 3.4 所示，該線性馬達平臺具有高速度、高加速度、精確性高且定位快速、無摩擦損耗、運動平順、可靠度高、耐久使用、維護簡微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 18 -單、小型化設計所需空間小、單軸上可有復數(shù)動子等特性，完全可以滿足微型立式數(shù)控銑床的設計要求。其性能參數(shù)如表 3.3 所示。圖 3.4 LMX2E-CB5-CB8-144-179-G20 XY 線性馬達平臺表 3.3 LMX2E-CB5-CB8-144-179-G20 型 XY 線性馬達平臺性能參數(shù)本設計 Z 軸方向驅動平臺選用科爾摩根公司生產的 PLATINUM-DDL 系列的直接驅動直線電機，型號是 ICD10-030，如圖 3.5 所示。根據(jù)以往銑削加工的經(jīng)驗，銑削的加速度一般都小于 2m/s2，該型號的直線電機的峰值推力為 340N，持續(xù)推力為 104N，在微型銑床的最大承載力為 20kg 的情況下，垂微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 19 -直軸的加速度為： 。由此可知，此型號電機完22104/5.//ams??全滿足微型銑床的要求。其具體性能參數(shù)如表 3.4 所示。圖 3.5 ICD10-030 型直接驅動直線電機表 3.4 ICD10-030 型直線電機性能參數(shù)微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 20 -為了保證機床實際加工的精度符合要求，三個方向的加工平臺均采用了MicroE 的線性光柵進行位置反饋，如圖 3.6 所示，其分辨率為 0.1μm，線位移測量分辨率為 2nm，完全可以滿足本微小機床的精度。微 型 立 式 數(shù) 控 銑 床 結 構 設 計- 21 -圖 3.6 MicroE 線性光柵3.3 精密臺鉗子系統(tǒng)臺鉗是用來夾持被加工工件的裝置，要求對被加工工件夾持后，能夠達到準確定位，保障足夠的直角度和平行度，并要求夾持牢靠無滑動。本微型數(shù)控銑床選用了日本 JAM 公司 WS80 精密臺鉗，如圖 3.7 所示,WS80 型臺鉗采用 SKS 材料，硬度可達 60HRC。該精密臺鉗采用獨特的扳手鎖扣型設計，通過在 45°下前方向施加夾持力防止工件浮起，確保了夾持定位可靠滑移。規(guī)格參數(shù)如表 3.5 所示。圖 3.7 WS80 精密臺鉗系統(tǒng)