曲軸制造技術(shù)及特種工藝

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1、曲軸制造技術(shù)及特種工藝 | [<<] [>>] 隨著發(fā)動(dòng)機(jī)日益向輕量化、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單化、性能優(yōu)質(zhì)化方向發(fā)展，發(fā)動(dòng)機(jī)曲軸制造技術(shù)和工藝發(fā)生了很大的變化。在當(dāng)今市場(chǎng)產(chǎn)品嚴(yán)重同質(zhì)化的情況下，為提高產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力，近年來(lái)發(fā)動(dòng)機(jī)曲軸加工采用了不少特種工藝，以增強(qiáng)企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。 先進(jìn)的曲軸加工生產(chǎn)線一般都比較短，但效率高、產(chǎn)量大，加工出的曲軸質(zhì)量好且很穩(wěn)定。如美國(guó)底特律Ford發(fā)動(dòng)機(jī)廠曲軸生產(chǎn)線只有17道工序，占地面積6967m2，但年產(chǎn)V8發(fā)動(dòng)機(jī)球鐵曲軸53.5萬(wàn)件。其先進(jìn)技術(shù)主要體現(xiàn)在兩個(gè)方面：一是大量采用了CNC控制技術(shù)，形成柔性生產(chǎn)線；二是應(yīng)用了許多先進(jìn)的高速、高效、柔性加工技術(shù)，簡(jiǎn)化了

2、工藝過(guò)程，提高了加工質(zhì)量，同時(shí)也縮短了單件加工時(shí)間。另外，為適應(yīng)降低成本等需要，近年來(lái)發(fā)動(dòng)機(jī)曲軸加工采用了很多特種工藝，相比之下，國(guó)內(nèi)大多數(shù)生產(chǎn)線還存在較大差距。 先進(jìn)加工技術(shù)及裝備 1、鉆質(zhì)量中心孔技術(shù) 曲軸屬于細(xì)長(zhǎng)類零件，加工過(guò)程中主要定位基準(zhǔn)是兩端中心孔，按其加工位置可分為兩種:一種是利用雙V型塊或其它方式找出曲軸支承軸頸的幾何中心，在此中心上加工出的中心孔稱為幾何中心孔；另一種是利用專門的質(zhì)量定心機(jī)測(cè)出曲軸的質(zhì)恐行模詿酥行納霞庸こ齙鬧行目壯莆柿恐行目?。由诱啱彭d募負(fù)渦巫次蟛詈橢柿糠植疾輝鵲仍潁話懔秸卟⒉恢睪稀? 國(guó)內(nèi)生產(chǎn)線中多采用幾何中心孔，但是利用幾何中心孔作定位中心

3、進(jìn)行車加工或磨加工時(shí)，工件旋轉(zhuǎn)會(huì)產(chǎn)生離心力，不僅影響加工質(zhì)量，降低定心元件的使用壽命，而且在加工后剩余的動(dòng)不平衡量較大?；谶@種原因，國(guó)外大都采用質(zhì)量中心孔，利用專門設(shè)計(jì)的測(cè)試設(shè)備來(lái)測(cè)試質(zhì)量中心，然后加工出中心孔，并且可將銑兩端長(zhǎng)度和加工質(zhì)量中心孔合并為一道工序，采用CNC技術(shù)控制，加工效率很高。但需要注意的是，若毛坯彎曲變形嚴(yán)重或質(zhì)量嚴(yán)重分布不均勻，采用質(zhì)量中心孔仍不能徹底解決上述問(wèn)題。因此，筆者認(rèn)為曲軸的質(zhì)量中心孔和幾何中心孔應(yīng)按毛坯質(zhì)量的好壞合理選用：如果毛坯質(zhì)量好，加工余量小且加工余量分布均勻，這時(shí)曲軸的質(zhì)量中心孔與幾何中心孔會(huì)基本重合，不必花費(fèi)較高的經(jīng)費(fèi)購(gòu)置質(zhì)量定心設(shè)備；如果毛坯質(zhì)量

4、較差，加工余量大且加工余量分布不均勻，則優(yōu)先選用質(zhì)量中心孔。 2、數(shù)控車-車?yán)夹g(shù) 車?yán)夹g(shù)在國(guó)外大量用于半精加工曲軸的主軸頸和連桿軸頸。其加工形式可分為3種：直線車?yán)?、?nèi)環(huán)刀具旋轉(zhuǎn)車?yán)屯猸h(huán)刀具旋轉(zhuǎn)車?yán)? 3、數(shù)控高速外銑技術(shù) 對(duì)于平衡塊側(cè)面需要加工的曲軸，CNC高速外銑技術(shù)比CNC車削、CNC內(nèi)銑、車-車?yán)纳a(chǎn)效率更高。以四拐曲軸為例，CNC車-車?yán)に嚰庸みB桿軸頸要二道工序，而CNC高速外銑只要一道工序即可完成（應(yīng)用工件回轉(zhuǎn)和銑刀進(jìn)給伺服連動(dòng)控制技術(shù)，可以一次裝夾不改變曲軸回轉(zhuǎn)中心隨動(dòng)跟蹤銑削曲軸的連桿軸頸）。 CNC高速外銑的優(yōu)點(diǎn)包括：切削速度高（可高達(dá)350m/min）、

5、切削和工序循環(huán)時(shí)間較短、切削力較小、工件溫升較低、刀具壽命高、換刀次數(shù)少、加工精度更高且柔性更好，因此CNC高速外銑將是曲軸主軸頸和連桿軸頸粗加工的發(fā)展方向。 4、CNC內(nèi)銑技術(shù) CNC內(nèi)銑加工性能指標(biāo)高于普通外銑加工，尤其對(duì)于鍛鋼曲軸，內(nèi)銑更有利于斷屑，剛性特別好。數(shù)控內(nèi)銑銑削工藝是目前國(guó)際上曲軸連桿頸粗加工先進(jìn)的加工方法之一，尤其是大功率鍛鋼曲軸的加工，內(nèi)銑工藝更是首選。 5、數(shù)控磨削技術(shù) 曲軸傳統(tǒng)的磨削工藝均采用磨削線速度為35m/s的普通曲軸磨床，砂輪進(jìn)給和修整為手動(dòng)進(jìn)給，軸徑和臺(tái)肩的磨削余量大，砂輪耐用度低，需技術(shù)工人精工細(xì)作才能磨出精品。目前，曲軸磨削采用多種磨削方式來(lái)加工

6、 曲軸磨削可采用的技術(shù)有單序加工和復(fù)合加工等工藝。采用單序加工方式加工磨削效率很高，磨削后軸頸的跳動(dòng)量容易控制，砂輪一次修整完畢后能保證各軸頸尺寸的一致性。缺點(diǎn)是柔性差，只能加工一個(gè)系列產(chǎn)品。加工曲軸前端和后端的有寬砂輪組合磨削等。例如，磨削四拐曲軸主軸頸采用的工藝有五，磨削四拐曲軸連桿頸采用的工藝有雙砂輪磨削。 復(fù)合加工是指一次裝夾磨削所有主軸頸和連桿軸頸，磨削連桿軸頸采用先進(jìn)的擺動(dòng)跟蹤磨削技術(shù)，這種磨削方式最大的優(yōu)點(diǎn)是柔性化好。復(fù)合加工有兩種可以采用的工藝：順序磨削主軸軸頸及連桿軸和同步磨削主軸軸頸及/或連桿。 6、曲軸深油孔加工采用槍鉆技術(shù) 曲軸深油孔加工是曲軸尤其是鍛鋼曲軸加工

7、中的一個(gè)難題。曲軸深油孔的直徑一般在5～8mm之間，從主軸頸到連桿頸傾斜貫通，屬典型細(xì)長(zhǎng)孔，而且在曲面上加工，工藝性差。加工深油孔最好的辦法是采用槍鉆工藝。 槍鉆不但可用來(lái)加工深孔（徑長(zhǎng)比1:250），而且也可用來(lái)加工淺孔（徑長(zhǎng)比1:1）。槍鉆由鉆柄（用于裝夾刀具）、鉆桿（用于連接刀頭，按加工孔的長(zhǎng)度確定，采用韌性較好的材料）、鉆頭（切削部分，刀尖是偏心的，采用硬質(zhì)合金材料）三部分焊接在一起，中間有一通孔，外側(cè)面有一直V型槽。依靠中間通孔實(shí)現(xiàn)內(nèi)冷卻，冷卻液從后刀而上的小孔處噴出，可直接對(duì)切削區(qū)冷卻。當(dāng)使用高壓冷卻液時(shí)，其切屑能從被加工孔中通過(guò)直V型槽有效排出，無(wú)需在鉆削過(guò)程中定期退刀來(lái)排出切

8、屑。在加工細(xì)長(zhǎng)孔時(shí)，槍鉆可以將鉆孔、鏜孔、鉸孔一次完成，一次走刀便可加工出高精度（IT6～8級(jí)）、直線度（0.16～0.33mm/1000mm）、粗糙度值（Ra3.2～0.1）孔。 據(jù)一汽大眾資料介紹，當(dāng)用槍鉆加工發(fā)動(dòng)機(jī)曲軸的深油孔時(shí)，必須使用尺寸適合的專用鉆套。他們采用的鉆套是用硬質(zhì)合金或合金工具鋼制造的精密槍鉆鉆套，其硬度為HRC 63～65，內(nèi)孔表面粗糙度為Ra1.6～3.2，內(nèi)外徑最大允許同軸度誤差為2um，前端面最大允許跳動(dòng)誤差為5um，鉆套底面和工件表面的距離不超過(guò)0.5mm，鉆套和主軸的同軸度誤差不超過(guò)5um，鉆套與槍鉆頭部的間隙保持在3～8um之內(nèi)。使用槍鉆的機(jī)床主軸必須有較

9、高的軸向和徑向剛度，使用時(shí)應(yīng)正確選取切削用量。一般情況下，切削速度Vc為60～100m/min，進(jìn)給量f為0.015～0.03mm/r，油壓P為2.5～6.0MPa，流量Q為0.2～0.65L/s。 此外，加工發(fā)動(dòng)機(jī)曲軸的深油孔時(shí)還需選擇專用的槍鉆油。一般槍鉆用切削液應(yīng)有極壓添加劑，以保證在高壓下形成油膜，防止產(chǎn)生干摩擦。切削液的粘度與鉆孔直徑有關(guān)，直徑越小，粘度越低。送往槍鉆切削區(qū)的切削油和一般機(jī)械加工相比具有壓力高、流量大、過(guò)濾精度高的特點(diǎn)。流量應(yīng)隨孔深的增大而增大，以保證切削油有更大的流速，達(dá)到通暢排屑的目的。 曲軸特種加工工藝 1、圓角滾壓工藝 曲軸的圓角滾壓是利用滾輪的壓力作

10、用，在曲軸的主軸頸和連桿頸過(guò)渡圓角處形成一條滾壓塑性變形帶。這條塑性變形帶的特點(diǎn)包括： （1）產(chǎn)生的殘余壓應(yīng)力可與曲軸在工作時(shí)的拉應(yīng)力抵消或部分抵消，從而提高疲勞強(qiáng)度。 （2）硬度提高。滾壓使圓角處形成高硬度的致密層，從而使曲軸的機(jī)械強(qiáng)度和疲勞強(qiáng)度提高。 （3）表面粗糙度降低。圓角滾壓可使圓角表面粗糙度達(dá)到Ra0.1以下，從而大大減小圓角處的應(yīng)力集中，提高疲勞強(qiáng)度。 國(guó)外應(yīng)用的圓角滾壓技術(shù)已相當(dāng)先進(jìn)，可一次完成對(duì)所有圓角的滾壓，且可做到主軸頸與連桿軸頸圓角的壓力不同，同一連桿軸頸圓角在不同方向上的壓力也可不同。這樣可經(jīng)濟(jì)地達(dá)到最佳的滾壓效果，最大限度地提高曲軸的抗疲勞強(qiáng)度。經(jīng)德國(guó)赫根塞

11、特（HEGENSCHEID）公司測(cè)定，球鐵曲軸經(jīng)滾壓后壽命可增至100%～280%。 2、滾磨光整工藝 光整加工技術(shù)應(yīng)用于發(fā)動(dòng)機(jī)曲軸，可以使其表面質(zhì)量大幅度提高。其主要工作原理是：由顆粒狀磨料和多功能磨液以及水組成磨具，磨具在料箱中做復(fù)雜的自由運(yùn)動(dòng)，將工件沉沒于磨具之中旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，工件與磨具以一定的相對(duì)速度和作用力發(fā)生摩擦、擠壓、刻劃和微量切削，以達(dá)到表面質(zhì)量的提高。尤其對(duì)曲軸而言，由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜人工去除毛刺困難，光整技術(shù)就顯得尤為重要。 光整加工技術(shù)的具體效果和主要特點(diǎn)包括： （1）能較全面地去除毛刺、圓化尖角銳邊； （2）能去除手工無(wú)法去除的銹蝕、氧化層和改善缺陷，使表面光亮奪目柔和

12、； （3）細(xì)化表面組織，提高軸頸表面殘余壓應(yīng)力的數(shù)值； （4）改善裝配性，提高可靠性和使用壽命，降低磨合期； （5）可大幅度地提高表面輪廓支撐長(zhǎng)度率Tp值，提高表面耐磨性。 3、砂帶拋光工藝 曲軸的主軸頸、連桿軸頸及止推面都要求進(jìn)行超精加工和拋光。傳統(tǒng)工藝是采用靠模油石超精加工機(jī)床，加工后嚴(yán)重地破壞了軸頸的幾何形狀，形成馬鞍形（凹形），而且對(duì)軸頸尺寸影響較大。國(guó)外曲軸的超精加工早已采用數(shù)控砂帶拋光工藝，而且這種砂帶是防潮靜電植砂的（保證砂粒尖鋒朝外）。為了能對(duì)圓角和軸肩拋光，砂帶兩側(cè)開槽以便與加工面貼合。 國(guó)外的曲軸砂帶拋光機(jī)可同時(shí)拋光主軸頸、連桿軸頸、圓角、軸肩及止推面。其結(jié)構(gòu)均

13、采用對(duì)夾式，每個(gè)軸頸上用4片墊塊（中凹型）壓緊砂帶；墊塊和砂帶宜根據(jù)工件材質(zhì)和硬度選擇；機(jī)床上的卷帶機(jī)能保證每個(gè)軸頸都有一段新砂帶（長(zhǎng)度可調(diào)）參加工作；拋光的方式以超精加工的原理進(jìn)行。其效率和效果都遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于油石。 對(duì)于球鐵曲軸的拋光與磨削，由于球鐵內(nèi)的鐵素體磨削后會(huì)形成突起毛刺，所以應(yīng)使軸的磨削轉(zhuǎn)向與工作轉(zhuǎn)向相反，拋光轉(zhuǎn)向與工作轉(zhuǎn)向相同。這樣才能在拋光中有效地去除毛刺，避免工作時(shí)刮傷軸瓦。 ? JTEKT發(fā)動(dòng)機(jī)生產(chǎn)線--締造軸類加工完美解決方案（馮衛(wèi) 王晶 ） | [<<] [>>] 株式會(huì)社JTEKT是日本豐田汽車集團(tuán)中的重要成員，是原豐田工機(jī)株式會(huì)社和光洋精工的合并企業(yè)

14、。該公司以滿足汽車制造行業(yè)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備高開動(dòng)率、低運(yùn)轉(zhuǎn)成本的要求為根本，以高穩(wěn)定性、高精度、高效率為主要特征，在世界汽車制造領(lǐng)域享有盛譽(yù)。 在磨床制造方面，從1955年交付第一臺(tái)磨床，并生產(chǎn)了日本第一臺(tái)曲軸磨床和世界第一臺(tái)數(shù)控凸輪磨床開始，JTEKT公司的交貨業(yè)績(jī)有口皆碑。憑借豐富的經(jīng)驗(yàn)和機(jī)床種類，JTEKT公司可以根據(jù)用戶的需要量身打造，提供各種軸類生產(chǎn)線和單機(jī)設(shè)備的解決方案。 隨著世界汽車行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的日益加劇，對(duì)設(shè)備制造業(yè)的要求向更低的制造成本，更快的交貨期方向發(fā)展，至此，生產(chǎn)線的整線交鑰匙工程（TURN KEY）成為目前流行的訂貨方式。JTEKT公司順應(yīng)市場(chǎng)要求，憑借其60年汽車發(fā)動(dòng)機(jī)

15、加工工藝的豐富經(jīng)驗(yàn)，聯(lián)合日本的優(yōu)秀設(shè)備制造企業(yè)（如小松工機(jī)、不二越、長(zhǎng)浜制作所、島田化成、電氣興業(yè)等）組成了強(qiáng)大的“整體解決方案”體系。根據(jù)不同用戶的具體要求，制造各種高效、高柔性的生產(chǎn)線，并且全線貫穿JTEKT公司60年來(lái)對(duì)豐田精益生產(chǎn)方式的深刻理解，從而幫助用戶在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中贏得主動(dòng)。 另外，由于JTEKT公司具有強(qiáng)大的開發(fā)設(shè)計(jì)能力，因此擁有非常豐富的機(jī)場(chǎng)種類：高效型、高柔性型、經(jīng)濟(jì)型等，可以根據(jù)用戶及加工工件的具體情況配備不同的機(jī)床，以達(dá)到最合適的效果，從而降低生產(chǎn)線成本，增強(qiáng)用戶的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。這里主要為大家介紹一下曲軸加工生產(chǎn)線和凸輪軸加工生產(chǎn)線的生產(chǎn)案例，以及主要設(shè)備的特點(diǎn)。 1、

16、全自動(dòng)曲軸生產(chǎn)線 這條生產(chǎn)線主要用于加工汽油發(fā)動(dòng)機(jī)曲軸，其生產(chǎn)綱領(lǐng)為236000件/年（C/T：1.1分/件）。其整線原則是：實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化，有效提高生產(chǎn)效率，避免人為誤操作；以提高市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力為核心，實(shí)現(xiàn)高開工率，并且運(yùn)轉(zhuǎn)成本低。此外，該生產(chǎn)線全線使用水溶性切削液。 2、全自動(dòng)曲軸精加工生產(chǎn)線 這條生產(chǎn)線主要的加工對(duì)象工件是4缸汽油發(fā)動(dòng)機(jī)曲軸，生產(chǎn)綱領(lǐng)為150000件/年（C/T：1.2分/件）。該整線原則在秉承了全自動(dòng)曲軸生產(chǎn)線整線原則的基礎(chǔ)上，還能夠自動(dòng)實(shí)現(xiàn)工件品種更換的對(duì)應(yīng)。此外，為保證曲軸成品跳動(dòng)精度的優(yōu)異，使其在發(fā)動(dòng)機(jī)中的運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)、安靜，該生產(chǎn)線采用了先加工連桿頸，后加工主軸頸的

17、工藝。 這條生產(chǎn)線中的主要設(shè)備是數(shù)控CBN雙砂輪臺(tái)隨動(dòng)磨床GF50M-70T，其主要特點(diǎn)包括： （1）同步控制工件回轉(zhuǎn)（C軸）與砂輪臺(tái)進(jìn)給（X軸）的隨動(dòng)磨削曲軸的連桿頸。適合于不同種類曲軸（拐部行程和相位角度不同）的共線生產(chǎn)，節(jié)省了換型步驟。 （2）數(shù)控雙砂輪臺(tái)各自獨(dú)立控制，可以獨(dú)立進(jìn)行各軸頸磨削，以提高生產(chǎn)效率。 （3）使用TOYODA磨床一貫的[TOYODA STAT]靜壓砂輪主軸軸承和靜壓導(dǎo)軌技術(shù)；砂輪臺(tái)驅(qū)動(dòng)使用先進(jìn)的直線電機(jī)技術(shù)。 （4）磨削使用可回收的水溶性冷卻液，與使用冷卻油方式相比，大大節(jié)約了加工成本。 凸輪軸加工生產(chǎn)線 全自動(dòng)凸輪軸精加工生產(chǎn)線的加工對(duì)象工件是汽油

18、發(fā)動(dòng)機(jī)凸輪軸，生產(chǎn)綱領(lǐng)為30萬(wàn)件/年（C/T：1分/件）。其整線原則是：實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化、高開工率、全柔性及CBN高速磨削，全線使用水溶性切削液。其生產(chǎn)線使用的主要設(shè)備是數(shù)控直線電機(jī)CBN砂輪凸輪軸磨床GC32M-63和雙頂尖驅(qū)動(dòng)CBN砂輪主軸頸磨床 GL5P-63III。其中，數(shù)控直線電機(jī)CBN砂輪凸輪軸磨床GC32M-63的特點(diǎn)是： （1）擁有世界領(lǐng)先的加工效率。砂輪表面線速度可達(dá)200m/s，快速進(jìn)給速度為φ60m/min。加工余量為6mm的冷激鑄鐵8凸輪工件加工只需要52s，是目前世界上加工速度最快的凸輪磨床。 （2）工件回轉(zhuǎn)為無(wú)級(jí)變速控制，保證凸輪在一周轉(zhuǎn)動(dòng)中完成最大的磨削量，磨削阻

19、力更加均衡，輪廓型線的加工精度提高，并因此有效縮短了加工節(jié)拍，從而實(shí)現(xiàn)高速、高精度磨削。 （3）靜壓導(dǎo)軌進(jìn)給、直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高靈敏度移動(dòng)的輕質(zhì)砂輪臺(tái)進(jìn)給構(gòu)造，能實(shí)現(xiàn)無(wú)空轉(zhuǎn)、無(wú)間隙進(jìn)給。最新技術(shù)的快速響應(yīng)伺服系統(tǒng)與砂輪臺(tái)進(jìn)給系統(tǒng)在減少凸輪磨削時(shí)間的同時(shí)，提高了凸輪加工面的質(zhì)量。 （4）TOYODA GC50開放式控制系統(tǒng)將各種自動(dòng)修正功能等作為標(biāo)準(zhǔn)配置，并增加換型支持功能，運(yùn)轉(zhuǎn)操作簡(jiǎn)便可靠，輕松實(shí)現(xiàn)了高精度加工。 （5）可通過(guò)安裝雙片砂輪，進(jìn)行同相角凸輪的同時(shí)磨削，進(jìn)一步提高加工效率；也可使用單砂輪磨削方式增強(qiáng)機(jī)床的柔性。 雙頂尖驅(qū)動(dòng)CBN砂輪主軸頸磨床GL5P-63III最主要的特點(diǎn)是

20、高柔性和高精度。它使用了獨(dú)特的雙頂尖同步驅(qū)動(dòng)方式，依靠機(jī)床的雙頂尖通過(guò)摩擦力驅(qū)動(dòng)凸輪軸轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)行磨削加工。頂尖通過(guò)伺服系統(tǒng)同步驅(qū)動(dòng)，頂尖套筒可以數(shù)控移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了不同長(zhǎng)度的工件混線加工。此外，機(jī)床配有主動(dòng)量?jī)x，對(duì)磨削的每一個(gè)軸頸可進(jìn)行主動(dòng)測(cè)量，實(shí)現(xiàn)精確加工。 JTEKT公司憑借其60年豐富的發(fā)動(dòng)機(jī)生產(chǎn)線制造經(jīng)驗(yàn)，已經(jīng)擁有30000臺(tái)以上的設(shè)備交貨業(yè)績(jī)，并因此成為世界頂級(jí)發(fā)動(dòng)機(jī)裝備制造企業(yè)。在中國(guó)市場(chǎng)，JTEKT公司憑借著強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力，專業(yè)、敬業(yè)的售后服務(wù)隊(duì)伍，為中國(guó)汽車產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起著積極的推動(dòng)作用。相信JTEKT公司憑借其“追求技術(shù)的夢(mèng)想，帶給您具有價(jià)值的技術(shù)”這一理念，會(huì)與國(guó)內(nèi)廣大用戶創(chuàng)造

21、出更美好的未來(lái)。 ? 復(fù)合加工技術(shù)引領(lǐng)潮流（蒲長(zhǎng)新） 在全球機(jī)床制造和金屬加工領(lǐng)域，復(fù)合加工技術(shù)正以其強(qiáng)大的加工能力被不斷發(fā)展與應(yīng)用。所謂復(fù)合加工技術(shù)，即是在一臺(tái)設(shè)備上完成車、銑、鉆、鏜、攻絲、鉸孔、擴(kuò)孔等多種加工要求，復(fù)合加工機(jī)床的最突出優(yōu)點(diǎn)是可以大大縮短工件的生產(chǎn)周期、提高工件加工精度。 為了實(shí)現(xiàn)復(fù)雜形狀工件的加工，使在一臺(tái)機(jī)床上能完成復(fù)數(shù)工序和復(fù)數(shù)工種的加工，這樣的機(jī)床稱為復(fù)合加工機(jī)床。就是說(shuō)，在復(fù)合化機(jī)床上可以實(shí)現(xiàn)完全不同性質(zhì)加工過(guò)程的加工。 復(fù)合加工機(jī)床功能范圍隨著時(shí)代變化而變化。有一時(shí)期，曾經(jīng)把加工中心稱春霞庸?a href= target=_blank class

22、=heiw>機(jī)床。可是，一般的加工中心不能超出某種切削加工范圍。現(xiàn)在的復(fù)合加工機(jī)床已不是那時(shí)的復(fù)合加工機(jī)床，具有本質(zhì)上差異。現(xiàn)代的復(fù)合加工機(jī)床是更進(jìn)一步復(fù)合化的開發(fā)，如在車削中心上裝載有回轉(zhuǎn)刀具的銑削功能，在加工中心上有車削功能，最近又出現(xiàn)了不同原理加工方法的集約如激光加工和切削加工的復(fù)合等，進(jìn)一步提高機(jī)床復(fù)合化程度。 復(fù)合加工機(jī)床的發(fā)展歷史 1845年美國(guó)丁?菲奇發(fā)明轉(zhuǎn)塔車床，1911年美國(guó)格林里公司為汽車零件加工開發(fā)了第一臺(tái)組合機(jī)床。1952年三軸數(shù)控銑床研制成功。1958年美國(guó)KT公司研制出帶有刀具自動(dòng)交換裝置的加工中心，有力地推動(dòng)了工序集中的加工方法的發(fā)展。 復(fù)合加工及其制造裝備

23、的出現(xiàn)已有百余年的歷史，但是真正得到較廣泛的應(yīng)用還是在20世紀(jì)80年代，數(shù)控技術(shù)和數(shù)控機(jī)床成為制造技術(shù)的主流后出現(xiàn)的。 20世紀(jì)80年代中后期，隨著加工中心功能和結(jié)構(gòu)的完善，顯示了這種工序集中數(shù)控機(jī)床的優(yōu)越性，開始出現(xiàn)車削中心、磨削中心等，使復(fù)合加工得到擴(kuò)展而不再局限于鏜、銑等工序。90年代后期又進(jìn)一步發(fā)展了車銑中心、銑車中心、車磨中心等，近年來(lái)又出現(xiàn)由激光、電火花和超聲波等特種加工方法與切削、磨削加工方法組合的復(fù)合機(jī)床，使復(fù)合加工技術(shù)成為推動(dòng)機(jī)床結(jié)構(gòu)和制造工藝發(fā)展的一個(gè)新熱點(diǎn)。 一、車削為主型 以車削加工為主的復(fù)合加工機(jī)是車削復(fù)合中心。車削復(fù)合中心是以車床為基礎(chǔ)的加工機(jī)，除車削用工具外

24、，在刀架上還裝有能銑削加工的回轉(zhuǎn)刀具，可以在圓形工件和棒狀工件上加工溝槽和平面。這類復(fù)合加工機(jī)常把夾持工件的主軸做成2個(gè)，既可同時(shí)對(duì)2個(gè)工件進(jìn)行相同的加工，也可通過(guò)在2主軸上交替夾持，完成對(duì)夾持部位的加工。 現(xiàn)在，加工2個(gè)工序以上的工件占車削加工的大多數(shù)。對(duì)這些工件進(jìn)行高效、高精度加工，有以下3種技術(shù)： 1、內(nèi)外加工集中化：在機(jī)內(nèi)裝有1次加工（外表面）以及2次加工（內(nèi)表面）的各種功能的1次/2次加工機(jī)。 2、加工的復(fù)合化：除車削加工，機(jī)內(nèi)還裝有銑削加工、磨削加工等各種功能的工序集中的加工機(jī)。 3、智能化：機(jī)內(nèi)具有儲(chǔ)存、運(yùn)輸、加工一體化、工件識(shí)別、工件夾持控制、適應(yīng)控制、信息網(wǎng)絡(luò)等最新監(jiān)

25、控技術(shù)的單元加工機(jī)。 該類復(fù)合機(jī)床有德國(guó)INDEX公司的TRAUB TNX65多功能數(shù)控車削中心，具有雙主軸、4個(gè)刀塔，第二主軸可作Y軸移動(dòng)；德國(guó)DMG公司的TWIN65雙主軸車削中心，上下各有一個(gè)轉(zhuǎn)塔刀架，可實(shí)現(xiàn)6面加工，第二主軸可作橫向移動(dòng)等。 二、銑削為主型 1、加工中心的多軸化 A、五軸控制，除X、Y、Z三軸控制外，為適應(yīng)使刀具姿勢(shì)變化，可以使各進(jìn)給軸回轉(zhuǎn)到特定的角度位置并進(jìn)行定位的五軸加工機(jī)。五軸加工機(jī)的使用方法有兩種：1用回轉(zhuǎn)軸分度，使工件相對(duì)于刀具傾斜，在這個(gè)狀態(tài)進(jìn)行三軸控制加工。2同時(shí)使所有的控制軸作連續(xù)運(yùn)動(dòng)，即五軸聯(lián)動(dòng)，可以對(duì)葉輪等具有外延伸曲面形狀的工件進(jìn)行加工。五

26、軸聯(lián)動(dòng)加工機(jī)的特點(diǎn)是可以避開切削速度變?yōu)榱愕募庸l件；可以用伸出長(zhǎng)度很短的刀具；可以在一次裝夾下加工外延伸曲面形狀的工件等。 B、六軸控制，用多軸控制銑削類加工機(jī)不能模擬復(fù)雜形狀工件加工，而復(fù)合加工可以。例如對(duì)有錐度形狀和四角形狀槽類等工件的加工，以前不變換加工工種是無(wú)法完成加工的，必須把工件轉(zhuǎn)到電加工機(jī)床上加工。可是如采用回轉(zhuǎn)刀具，使刀具一邊作6軸控制運(yùn)動(dòng)，一邊作擺動(dòng)切削加工，就可在一臺(tái)機(jī)床上完成加工。而且精度、效率也可以提高。如使用非回轉(zhuǎn)刀具，必須控制回轉(zhuǎn)主軸的回轉(zhuǎn)位置，此時(shí)六軸控制是必要的。用六軸控制加工時(shí)，采用非回轉(zhuǎn)刀具時(shí)，切削速度等同于進(jìn)給速度，不能進(jìn)行高速加工；而用回轉(zhuǎn)刀具則能適

27、應(yīng)原不能加工部位和形狀的加工，無(wú)需轉(zhuǎn)換工種，僅用切削加工就能一次完成全部加工，效率較高。 2、加工中心的復(fù)合化 除銑削加工外，還裝載有一個(gè)能進(jìn)行車削的動(dòng)力回轉(zhuǎn)工作臺(tái)。 以銑削為主的復(fù)合機(jī)床有日本MAZAK公司的INTEGREX e800V/5五軸臥式銑車中心，是在五軸臥式加工中心的基礎(chǔ)上，使回轉(zhuǎn)工作臺(tái)增加車削功能，可以在一次裝卡下對(duì)圓形零件實(shí)現(xiàn)車、銑完全加工；意大利Milanese公司的NTXI銑車復(fù)合中心，是在立式加工中心的右端增添一個(gè)車削主軸。 三、磨削為主型 磨床的多軸化，原來(lái)只在無(wú)心磨床上可見，多數(shù)是以裝卸作業(yè)自動(dòng)化為目的。現(xiàn)在，開發(fā)了在一臺(tái)機(jī)床上能完成內(nèi)圓、外圓、端面磨削的

28、復(fù)合加工機(jī)。例如在歐洲，開發(fā)了綜合螺紋和花鍵磨削功能的復(fù)合加工機(jī)。 該類復(fù)合機(jī)床的代表為瑞士MAGERLE公司的MGR立式車磨復(fù)合加工機(jī)，機(jī)床上方配有多個(gè)磨頭和一個(gè)車刀架，可以對(duì)零件進(jìn)行磨削和精車；日本森精機(jī)制作所的IGV-3NT磨頭可回轉(zhuǎn)式立式磨床，可在一次裝卡下對(duì)零件內(nèi)外圓和端面進(jìn)行加工；瑞士STUDER公司的S33萬(wàn)能數(shù)控磨床，可以在一次裝卡下實(shí)現(xiàn)多線螺紋加工和內(nèi)外圓、端面加工。 四、不同工種加工的復(fù)合化 把多種不同原理的加工類型集約，如切削與磨削、研磨的復(fù)合；用激光功能把加工后熱處理、焊接、切割合并；加工和組裝同時(shí)實(shí)施等。還有，集中車削和銑削功能，特別是齒輪加工功能等的獨(dú)特的生產(chǎn)

29、型復(fù)合加工機(jī)；與激光加工復(fù)合，開發(fā)了裝有磨削功能和激光淬火功能的復(fù)合機(jī)床等。在歐洲還開發(fā)了機(jī)械銑削功能、激光三維加工功能等集約的復(fù)合加工機(jī)。 復(fù)合加工技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì) 復(fù)合加工技術(shù)是未來(lái)機(jī)械加工的發(fā)展方向。隨著社會(huì)各個(gè)領(lǐng)域的不斷發(fā)展，對(duì)機(jī)械加工領(lǐng)域的要求也不斷提高，高速度、高精度和高效率的“三高”加工是對(duì)未來(lái)機(jī)械加工的基本要求，而僅僅靠傳統(tǒng)的加工理念是很難滿足這一要求的。因此，機(jī)械加工領(lǐng)域要求不斷突破傳統(tǒng)的觀念，不斷改善和提高加工的技術(shù)，以適應(yīng)未來(lái)的要求，而復(fù)合加工技術(shù)正好滿足了這一要求。 今天的復(fù)合加工技術(shù)，是針對(duì)以普通的數(shù)控車削中心和加工中心為基礎(chǔ)，發(fā)展到復(fù)合車銑加工中心。這要求機(jī)床制

30、造業(yè)應(yīng)以現(xiàn)有的技術(shù)水平為基礎(chǔ)，研發(fā)、制造、穩(wěn)定和推廣具有高效、復(fù)合、穩(wěn)定、成本低廉的，適合于現(xiàn)代加工技術(shù)的高水平機(jī)床。 ? 復(fù)合加工技術(shù)提高制造設(shè)備潛能 復(fù)合加工技術(shù)的優(yōu)勢(shì)不僅體現(xiàn)在復(fù)合刀具上，采用具有復(fù)合結(jié)構(gòu)的機(jī)床，可以簡(jiǎn)化加工工序、提高加工效率，大大提高設(shè)備的生產(chǎn)潛能。 變速器作為汽車傳動(dòng)系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件，其加工質(zhì)量將直接影響到汽車的動(dòng)力性能和穩(wěn)定性能。南京依維柯汽車有限公司變速箱分公司在生產(chǎn)制造過(guò)程中，恰當(dāng)?shù)貞?yīng)用復(fù)合加工技術(shù)，發(fā)揮制造設(shè)備的潛能，達(dá)到了很好的效果。 軸類零件的車加工 在變速箱Ⅰ軸的車削加工過(guò)程中，工件部分外圓和孔具有較高的同軸度要求和一定的尺寸精度要求

31、。在傳統(tǒng)的加工方式中，通常先以兩端中心孔定位，車B處外圓；夾持B處外圓，加工右端內(nèi)孔和外臺(tái)階；以兩端中心孔定位，加工所有外圓端面和溝槽。這種加工方式中工件需要重復(fù)裝夾，必定會(huì)產(chǎn)生加工定位誤差，因此，很難保證被加工工件的精度。 經(jīng)過(guò)對(duì)工藝流程的仔細(xì)分析和判斷，我廠采用了高性能的數(shù)控車床。在該機(jī)床上，工件只需裝夾一次，便可完成Ⅰ軸所有內(nèi)、外表面的加工，不僅提高了加工效率，同時(shí)也提高了加工精度。 該機(jī)床具有上、下兩個(gè)刀塔和刀具驅(qū)動(dòng)裝置，可配置動(dòng)力刀具。其下刀塔備有中心架和零件托架，主軸配有雙活塞拉式夾緊液壓缸和帶端面驅(qū)動(dòng)的液壓夾盤。 變速箱Ⅰ軸經(jīng)過(guò)鑄造和鍛造后，首先進(jìn)行兩端面的銑削，并鉆中心。

32、車削加工時(shí)，將工件毛坯放在機(jī)床下刀塔的零件托架上，由機(jī)床自動(dòng)選擇工件的夾持方式，進(jìn)行加工。 整個(gè)加工循環(huán)過(guò)程和夾持方式是： 1、用頂針以Ⅰ軸兩端中心孔定位，主軸夾盤的端面驅(qū)動(dòng)爪夾持工件左端面，車削外圓面。 2、左端夾持外圓面，頂針頂緊右端中心孔，車削外圓面。 3、夾持外圓面，并用中心架夾持外圓面，右端尾架退出，車削Ⅰ軸內(nèi)表面、切內(nèi)槽、鉆中心孔等。 4、由于外圓面和因夾具夾緊而造成表面質(zhì)量下降，因此，此工序重車該兩處表面，依然采用頂針頂緊兩端面中心孔的夾持方式，但不同的是，此時(shí)右端面的中心孔已變?yōu)閮?nèi)端面中心孔。 盤類零件的車削加工 齒坯的內(nèi)孔及兩側(cè)端面是后道工序齒加工用的工藝基準(zhǔn)面

33、，要求有較好的尺寸精度和垂直度、平行度。在齒坯的車削加工中，我廠通過(guò)采用一臺(tái)具有副主軸結(jié)構(gòu)的數(shù)控車床，實(shí)現(xiàn)了人工一次裝夾，完成全部車削加工內(nèi)容。該機(jī)床與其他形式的雙主軸機(jī)床相比，工件在主軸之間的轉(zhuǎn)換交接不需要機(jī)械手來(lái)完成，只需在主軸上安裝好工件毛坯，即可在副主軸上取下加工好的工件。 1、把工件毛坯放入左端主軸夾盤。 2、主軸夾盤夾緊工件左端外圓，機(jī)床完成工件右側(cè)臺(tái)階外圓、端面和孔的車削加工。 3、右端的副主軸自動(dòng)前移，從右端夾持工件內(nèi)孔，主軸夾盤松開，副主軸退后。 4、副主軸夾持工件內(nèi)孔，車削工件左側(cè)端面和外圓。 磨削加工 齒輪在經(jīng)過(guò)熱處理后，需要進(jìn)行外錐面、兩側(cè)內(nèi)端面和內(nèi)孔的磨削

34、加工。傳統(tǒng)的加工方式是：先以外齒定位，磨削內(nèi)孔、右側(cè)端面；以孔定位磨削外錐面，磨削左側(cè)端面。經(jīng)過(guò)工藝分析，我廠最終選用的高性能數(shù)控磨床，僅需一次裝夾，即可完成所有的加工內(nèi)容。該機(jī)床有一個(gè)外圓磨頭和一個(gè)內(nèi)圓磨頭，而且內(nèi)圓磨頭可以進(jìn)行端面磨削加工。加工時(shí)，用節(jié)圓夾具夾持工件外齒，采用端面定位；磨削內(nèi)圓的砂輪具有特殊的形狀，既可磨削內(nèi)孔又可磨削兩側(cè)端面，如圖7所示。由于在一次進(jìn)給中完成了內(nèi)、外圓和端面的加工，避免了因定位基準(zhǔn)不同而引起的尺寸和形位誤差 變速箱殼體加工 變速箱殼體，采用鋁合金壓鑄方式制造，除底面外，四周及頂部都包含有加工面，且關(guān)聯(lián)尺寸和形位誤差要求都較高，如：前、后兩面的平行度；后

35、面上孔相對(duì)于前面上孔的位置度；頂面孔及左右面相對(duì)于前、后面上孔的位置度等。經(jīng)過(guò)對(duì)加工內(nèi)容的仔細(xì)分析和工藝安排，我廠選用了主軸具有立、臥轉(zhuǎn)換功能的加，該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)刀具的自動(dòng)更換。工件裝夾后，主軸處于臥式狀態(tài)，依靠旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)加工前、后、左、右四個(gè)面上的所有內(nèi)容，隨后主軸轉(zhuǎn)換為立式，加工頂面內(nèi)容，從而實(shí)現(xiàn)了在一次裝夾中，完成所有銑、鉆、擴(kuò)、锪、攻螺紋等加工內(nèi)容。在該加工設(shè)備上完成箱體的加工，避免了分工序加工產(chǎn)生的重復(fù)定位誤差，可靠地保證了產(chǎn)品的加工精度。 在加工過(guò)程中，為了準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)工藝目的，除要求機(jī)床主軸具有立、臥轉(zhuǎn)換功能外，還要求變速箱殼體毛坯必須設(shè)計(jì)有合理的供工藝定位和夾持的工藝孔以及工藝凸臺(tái)

36、，同時(shí)采用的夾具必須在夾持工件后，不干涉刀具系統(tǒng)的正常運(yùn)行。 結(jié)語(yǔ) 復(fù)合加工是在一次裝夾工件中完成大部分或是全部加工工序的加工技術(shù)。在零部件結(jié)構(gòu)逐漸復(fù)雜化的條件下，其應(yīng)用實(shí)現(xiàn)了減少機(jī)床和夾具，免去工序間的搬運(yùn)和儲(chǔ)存，提高工件加工精度，縮短加工周期和節(jié)約作業(yè)面積的目的。 平面磨床評(píng)述 復(fù)合加工技術(shù)的優(yōu)勢(shì)不僅體現(xiàn)在復(fù)合刀具上，采用具有復(fù)合結(jié)構(gòu)的機(jī)床，可以簡(jiǎn)化加工工序、提高加工效率，大大提高設(shè)備的生產(chǎn)潛能。 變速器作為汽車傳動(dòng)系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件，其加工質(zhì)量將直接影響到汽車的動(dòng)力性能和穩(wěn)定性能。南京依維柯汽車有限公司變速箱分公司在生產(chǎn)制造過(guò)程中，恰當(dāng)?shù)貞?yīng)用復(fù)合加工技術(shù)，發(fā)揮制造設(shè)

37、備的潛能，達(dá)到了很好的效果。 軸類零件的車加工 在變速箱Ⅰ軸的車削加工過(guò)程中，工件部分外圓和孔具有較高的同軸度要求和一定的尺寸精度要求。在傳統(tǒng)的加工方式中，通常先以兩端中心孔定位，車B處外圓；夾持B處外圓，加工右端內(nèi)孔和外臺(tái)階；以兩端中心孔定位，加工所有外圓端面和溝槽。這種加工方式中工件需要重復(fù)裝夾，必定會(huì)產(chǎn)生加工定位誤差，因此，很難保證被加工工件的精度。 經(jīng)過(guò)對(duì)工藝流程的仔細(xì)分析和判斷，我廠采用了高性能的數(shù)控車床。在該機(jī)床上，工件只需裝夾一次，便可完成Ⅰ軸所有內(nèi)、外表面的加工，不僅提高了加工效率，同時(shí)也提高了加工精度。 該機(jī)床具有上、下兩個(gè)刀塔和刀具驅(qū)動(dòng)裝置，可配置動(dòng)力刀具。其下刀塔

38、備有中心架和零件托架，主軸配有雙活塞拉式夾緊液壓缸和帶端面驅(qū)動(dòng)的液壓夾盤。 變速箱Ⅰ軸經(jīng)過(guò)鑄造和鍛造后，首先進(jìn)行兩端面的銑削，并鉆中心。車削加工時(shí)，將工件毛坯放在機(jī)床下刀塔的零件托架上，由機(jī)床自動(dòng)選擇工件的夾持方式，進(jìn)行加工。 整個(gè)加工循環(huán)過(guò)程和夾持方式是： 1、用頂針以Ⅰ軸兩端中心孔定位，主軸夾盤的端面驅(qū)動(dòng)爪夾持工件左端面，車削外圓面。 2、左端夾持外圓面，頂針頂緊右端中心孔，車削外圓面。 3、夾持外圓面，并用中心架夾持外圓面，右端尾架退出，車削Ⅰ軸內(nèi)表面、切內(nèi)槽、鉆中心孔等。 4、由于外圓面和因夾具夾緊而造成表面質(zhì)量下降，因此，此工序重車該兩處表面，依然采用頂針頂緊兩端面中心孔

39、的夾持方式，但不同的是，此時(shí)右端面的中心孔已變?yōu)閮?nèi)端面中心孔。 盤類零件的車削加工 齒坯的內(nèi)孔及兩側(cè)端面是后道工序齒加工用的工藝基準(zhǔn)面，要求有較好的尺寸精度和垂直度、平行度。在齒坯的車削加工中，我廠通過(guò)采用一臺(tái)具有副主軸結(jié)構(gòu)的數(shù)控車床，實(shí)現(xiàn)了人工一次裝夾，完成全部車削加工內(nèi)容。該機(jī)床與其他形式的雙主軸機(jī)床相比，工件在主軸之間的轉(zhuǎn)換交接不需要機(jī)械手來(lái)完成，只需在主軸上安裝好工件毛坯，即可在副主軸上取下加工好的工件。 1、把工件毛坯放入左端主軸夾盤。 2、主軸夾盤夾緊工件左端外圓，機(jī)床完成工件右側(cè)臺(tái)階外圓、端面和孔的車削加工。 3、右端的副主軸自動(dòng)前移，從右端夾持工件內(nèi)孔，主軸夾盤松開，

40、副主軸退后。 4、副主軸夾持工件內(nèi)孔，車削工件左側(cè)端面和外圓。 磨削加工 齒輪在經(jīng)過(guò)熱處理后，需要進(jìn)行外錐面、兩側(cè)內(nèi)端面和內(nèi)孔的磨削加工。傳統(tǒng)的加工方式是：先以外齒定位，磨削內(nèi)孔、右側(cè)端面；以孔定位磨削外錐面，磨削左側(cè)端面。經(jīng)過(guò)工藝分析，我廠最終選用的高性能數(shù)控磨床，僅需一次裝夾，即可完成所有的加工內(nèi)容。該機(jī)床有一個(gè)外圓磨頭和一個(gè)內(nèi)圓磨頭，而且內(nèi)圓磨頭可以進(jìn)行端面磨削加工。加工時(shí)，用節(jié)圓夾具夾持工件外齒，采用端面定位；磨削內(nèi)圓的砂輪具有特殊的形狀，既可磨削內(nèi)孔又可磨削兩側(cè)端面，如圖7所示。由于在一次進(jìn)給中完成了內(nèi)、外圓和端面的加工，避免了因定位基準(zhǔn)不同而引起的尺寸和形位誤差 變速箱殼體

41、加工 變速箱殼體，采用鋁合金壓鑄方式制造，除底面外，四周及頂部都包含有加工面，且關(guān)聯(lián)尺寸和形位誤差要求都較高，如：前、后兩面的平行度；后面上孔相對(duì)于前面上孔的位置度；頂面孔及左右面相對(duì)于前、后面上孔的位置度等。經(jīng)過(guò)對(duì)加工內(nèi)容的仔細(xì)分析和工藝安排，我廠選用了主軸具有立、臥轉(zhuǎn)換功能的加，該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)刀具的自動(dòng)更換。工件裝夾后，主軸處于臥式狀態(tài)，依靠旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)加工前、后、左、右四個(gè)面上的所有內(nèi)容，隨后主軸轉(zhuǎn)換為立式，加工頂面內(nèi)容，從而實(shí)現(xiàn)了在一次裝夾中，完成所有銑、鉆、擴(kuò)、锪、攻螺紋等加工內(nèi)容。在該加工設(shè)備上完成箱體的加工，避免了分工序加工產(chǎn)生的重復(fù)定位誤差，可靠地保證了產(chǎn)品的加工精度。 在加工

42、過(guò)程中，為了準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)工藝目的，除要求機(jī)床主軸具有立、臥轉(zhuǎn)換功能外，還要求變速箱殼體毛坯必須設(shè)計(jì)有合理的供工藝定位和夾持的工藝孔以及工藝凸臺(tái)，同時(shí)采用的夾具必須在夾持工件后，不干涉刀具系統(tǒng)的正常運(yùn)行。 結(jié)語(yǔ) 復(fù)合加工是在一次裝夾工件中完成大部分或是全部加工工序的加工技術(shù)。在零部件結(jié)構(gòu)逐漸復(fù)雜化的條件下，其應(yīng)用實(shí)現(xiàn)了減少機(jī)床和夾具，免去工序間的搬運(yùn)和儲(chǔ)存，提高工件加工精度，縮短加工周期和節(jié)約作業(yè)面積的目的。 絲錐方頭的磨削加工 絲錐方頭在絲錐工作時(shí)用于傳遞扭矩，同時(shí)也可作為加工絲錐的基準(zhǔn)。加工絲錐時(shí)，對(duì)絲錐方頭有一定的尺寸、表面粗糙度及形位誤差要求(如國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定普通絲錐的方頭對(duì)柄部軸

43、線對(duì)稱度不超過(guò)尺寸公差的1/2)。加工絲錐方頭可采用銑削或磨削工藝。采用磨削工藝加工絲錐方頭精度及效率較高，特別適合磨削量較小的小規(guī)格絲錐加工。筆者通過(guò)總結(jié)工廠多年磨削加工絲錐方頭的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，分析了絲錐方頭磨削工藝和加工中常見的質(zhì)量間題及解決措施。? 一、絲錐方頭磨削工藝 1. 加工原理 為滿足對(duì)絲錐方頭加工的技術(shù)要求，我廠自行設(shè)計(jì)制造了絲錐磨方機(jī)。磨方機(jī)主要由砂輪架、傳動(dòng)部分、夾持和冷卻裝置等組成，其結(jié)構(gòu)如圖1所示。磨削絲錐方頭時(shí)，由減速機(jī)構(gòu)帶動(dòng)凸輪旋轉(zhuǎn)，凸輪運(yùn)動(dòng)通過(guò)緊壓其上的軸承再通過(guò)支臂傳遞到工件上。凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，軸承沿凸輪外圓軌跡作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，工件則隨支臂的上下運(yùn)動(dòng)而擺動(dòng)，按展成

44、法原理磨出絲錐方頭的一個(gè)面，然后ü侄饒コ銎溆噯雒?。方头的磨削硣\繽ü髡痘褂枰員Ｖぃ庸3～M12的小規(guī)格機(jī)用絲錐時(shí)，一般通過(guò)一個(gè)加工循環(huán)即可達(dá)到尺寸要求。 2. 夾緊方式 磨方機(jī)采用液壓夾緊方式夾持絲錐。夾緊機(jī)構(gòu)在絲錐刃部端采用反花頂尖，在絲錐柄部端采用導(dǎo)套加頂尖結(jié)構(gòu)。加工循環(huán)啟動(dòng)后，主軸前進(jìn)，將工件夾緊。液壓馬達(dá)起動(dòng)后，帶動(dòng)凸輪及工件轉(zhuǎn)動(dòng)凸輪每轉(zhuǎn)動(dòng)一周，工件轉(zhuǎn)動(dòng)1/4周，完成絲錐方頭一個(gè)面的磨削加工;凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)四周，工件則轉(zhuǎn)完一周，完成絲錐方頭四個(gè)面的加工。此時(shí)液壓馬達(dá)停止.主軸退回，松開工件，完成一個(gè)加工循環(huán)。這種卡緊方式方便、迅捷，可大大提高生產(chǎn)效率。 3. 冷卻方式

45、 絲錐方頭磨削采用強(qiáng)力磨削方式，在加工過(guò)程中產(chǎn)生大量磨削熱。為此需要采用圖2所示雙向強(qiáng)力冷卻方式，以有效降低磨削溫度，消除因磨削熱量引起的工件材料變形，同時(shí)便于工件裝夾。 二、常見質(zhì)量問(wèn)題與解決措施 1. 磨糊燒傷 由于磨削過(guò)程中產(chǎn)生大量磨削熱，易造成絲錐方頭磨糊燒傷。解決措施為加大冷卻液的壓力，選用冷卻效果較好的冷卻劑;此外，在熱處理工序前磨削方頭則可忽略磨糊燒傷的影響。 2. 方頭形狀不規(guī)則 造成絲錐方頭加工后方形不規(guī)則的主要原因有凸輪設(shè)計(jì)不合理、頂尖磨損、工件未夾緊、砂輪外圓與工件外圓平行度不好等。解決措施為合理設(shè)計(jì)凸輪，經(jīng)常更換頂尖，正確修整砂輪。 3. 磨削表面粗糙度達(dá)不

46、到要求 影響磨削表面質(zhì)量的主要原因是砂輪選擇不合理、砂輪修整質(zhì)量不好等。解決措施為選擇磨料粒度、硬度合適的砂輪，定時(shí)修整砂輪等。 4. 方頭對(duì)稱度超差 頂尖不合格是造成方頭對(duì)稱度超差的主要原因，解決措施為選用質(zhì)量合格的頂尖。 加工實(shí)踐表明，采用磨方機(jī)磨削加工機(jī)用絲錐方頭可提高機(jī)用絲錐的加工質(zhì)量和生產(chǎn)效率，適合在絲錐生產(chǎn)中推廣應(yīng)用。 ? 精密磨削 1 前言 磨削(Grinding)是一種利用磨輪(Grinding Wheel)作高速旋轉(zhuǎn)及微小深度（微小量），磨削工件表面或內(nèi)孔，以獲得精密形狀及表面粗度的加工技術(shù)。 磨削加工的特色： (1)每一顆微細(xì)磨粒，其作用相當(dāng)于一把細(xì)

47、微刀刃，磨削加工，如同無(wú)數(shù)細(xì)微刀刃同時(shí)切削。 (2)可磨削硬脆材料，如硬化鋼、玻璃、碳化物及陶瓷等。 (3)磨削去除率小(Low Material Removal Rate) (4)磨削速率(Cutting Speed)大，進(jìn)給率(Feed Rate)及磨削深度(Depth of cut)均小，因此比馬力(Specific Horse Power)相當(dāng)大 HPs (Specific Horse Power)=HP(Horse Power)/MRR(Material Removal Rate) 2 深進(jìn)緩給磨削(Creep Feed Grinding) 所謂深進(jìn)緩給磨削(Cree

48、p Feed Grinding)簡(jiǎn)稱(C.F.G)，與一般的平面磨削不一樣，磨削深度(Depth of cut)增加數(shù)倍至數(shù)十倍，而進(jìn)給率(Feed Rate)以相同的倍數(shù)減慢，可以增加磨削速率及增進(jìn)工作表面粗度的磨削技術(shù)。 CFG磨床之特色： (1)磨削深度（即磨削量）大，具備減震裝置(Damping Device)，以維持靜，動(dòng)平衡。 (2)軟質(zhì)磨輪增進(jìn)工件表面粗度。 (3)為保持磨輪表面，不被磨屑阻塞，經(jīng)常保持在銳利狀態(tài)，因此在其上方按裝表面含有鉆石磨粒之整修砂輪(Dressing Wheel)，在制程中，不斷整修磨輪，使其保持真圓度及銳利狀態(tài)，以維持工件品質(zhì)之穩(wěn)定性。 (4)

49、為維持一定的切削速率(Cutting Speed)及磨削深度，磨輪轉(zhuǎn)速不但可以無(wú)段變速，并且能夠自動(dòng)下降以獲得理想且一致的工件品質(zhì)。 3 電解磨削(Electrolytic Grinding) 電解研削(ECG)是由電解加工，亦可稱為電化學(xué)加工(Electro Chemical Machining簡(jiǎn)稱ECM)，亦就是反電鍍(Deplating)加工與機(jī)械磨削(Mechanical Grinding)所組合之復(fù)合加工。電解磨削是1952年美國(guó)G.F Keeleric 研發(fā)成功。 電解加工原理 電解加工在原理上是將電鑄的陽(yáng)極金屬溶解現(xiàn)象應(yīng)用于金屬加工，將預(yù)先成形為所定形狀的電極隔著微小間隙

50、(0.2~0.3mm)與被加工物表面相向，并壓送電解液(electrolyte)，流速5~20m/s，以電極(electrode)為陰極，被加工物為陽(yáng)極，施加一定的直流電壓(5~20V)，則經(jīng)電解液而通電流，被加工物從接近電極的部份開始電解，同時(shí)使電極以一定速度(0.5~3.0mm/min)向被加工物送入，達(dá)預(yù)先設(shè)定的加工深度時(shí)，即得所希望的加工形狀。 電解加工的特色 (1)可同時(shí)加工廣大面積之工件。 (2)不拘被加工物的機(jī)械性質(zhì)，都可加工。 (3)不發(fā)生熱變形、加工應(yīng)變、加工變質(zhì)層。 (4)單一工程即可雕出復(fù)雜形狀工件。 (5)電極不消耗。 (6)加工面粗糙度良好。 (7)加

51、工速度比放電加工(EDM)快5~10倍。 電解加工的應(yīng)用 (1)鍛造模、玻璃模、橡膠模等的雕形加工。 (2)溝加工、斜面、輪廓加工、深孔加工等傳統(tǒng)加工法的效率差者。 (3)難切削材料的加工。 (4)去除毛邊，傷痕等不可能用機(jī)械加工的加工。 電解磨削系利用金屬結(jié)合劑及微細(xì)鉆石磨料所組成的導(dǎo)電性砂輪同時(shí)進(jìn)行電解加工與機(jī)械研削的方式，砂輪的導(dǎo)電部份為陰極，被加工物為陽(yáng)極，接直流電源，在兩者的間隙通電解液，在被加工物與砂輪的導(dǎo)電性結(jié)合材料之間進(jìn)行電解加工，不易電解的物質(zhì)或被加工而生成的不動(dòng)態(tài)皮膜（即金屬氧化膜），用磨料以機(jī)械研削除去，加工量的比率是電解加工量90﹪、機(jī)械研削量10﹪。磨料突

52、出量為0.05mm以下，這可防止兩極的短電路，并保持電解液通路必要的間隙。 當(dāng)進(jìn)行粗、中等加工后，停供電解電流，只以機(jī)械研削細(xì)加工而提高加工精度的方式—此方式是利用電解研削的高效率，除去加工量后，停止電解加工，不更換砂輪，以同一砂輪繼續(xù)細(xì)磨。而得到期望的表面精度。電解液可提高電解研削速率，磨料微粒為不導(dǎo)電的材料，如：鉆石、三氧化二鋁（Al2O3）及晶方氮化硼（CBN）。 4 電解拋光（Electrolytic Polishing） 所謂電解拋光，即是將工件放置陽(yáng)極，于電解液中通電，在適當(dāng)操作參數(shù)下，使工件發(fā)生電解反應(yīng)（亦稱反電鍍），工件表面而因電場(chǎng)集中效應(yīng)而產(chǎn)生溶解作用，因而可達(dá)成工件表

53、面平坦與光澤化之加工技術(shù)。 電解拋光技術(shù)于1931年，由D.A.Jacquet發(fā)明采行。「電解拋光」技術(shù)可廣泛運(yùn)用在半導(dǎo)體制程設(shè)備、化工、航天以及其它高精密等表面處理加工。 電解拋光應(yīng)用范圍： (1) 可處理銅、黃銅、鉛、鎳、鈷、鋅、钖、鋁、不銹鋼、鐵、鎢等材料。 (2) 電解拋光技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體/LCD等級(jí)閥件、管配件、接頭、IGS之表面處理。 (3) 電解拋光可達(dá)鏡面級(jí)光澤，拋光后產(chǎn)品表面可達(dá)Ra=0.2~0.5μm。 (4) 不銹鋼電解拋光表面可生成鈍化層，有效提升抗腐蝕能力。 工研院機(jī)研所，兩年來(lái)，在沒有技術(shù)引進(jìn)情況下，自行設(shè)計(jì)、開發(fā)夾治具、電解液和設(shè)立實(shí)驗(yàn)室，摸索出

54、世界最新穎的表面處理「電解拋光」關(guān)鍵技術(shù)。機(jī)械所目前已建立電解拋光實(shí)驗(yàn)室，擁有內(nèi)外孔電解拋光設(shè)備，除開發(fā)閥件內(nèi)孔電解拋光技術(shù)外，更將觸角延伸至管件內(nèi)孔電解拋光高級(jí)技術(shù)發(fā)展，期能建立我國(guó)扎實(shí)的電解拋光加工能力。 近年，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造業(yè)蓬勃發(fā)展，但半導(dǎo)體制程設(shè)備工業(yè)卻遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后，詳究其原因，主要在于國(guó)內(nèi)缺半導(dǎo)體制程設(shè)備所需的精密表面加工技術(shù)。電解拋光應(yīng)用于半導(dǎo)體制程設(shè)備中的控制閥內(nèi)流道、廠務(wù)配管流道、反應(yīng)腔壁表面之處，凡與制程氣體接觸之處理都需要電解拋光加工處理，應(yīng)用范圍多且廣。將電解拋光應(yīng)用于半導(dǎo)體制程設(shè)備的目的有三，一為可生成抗蝕鈍化層，二為可產(chǎn)生高度潔凈表面，三為可鏡面拋光降低粗糙度。為建立

55、電解拋光操作參數(shù)，機(jī)械所是從電流密度、電壓、通電時(shí)間、溫度、流速、電解液配方、比例、添加劑等，來(lái)了解其對(duì)鈍化抗蝕性的影響，并委托清華大學(xué)進(jìn)行電解拋光試片抗蝕性研究，已實(shí)驗(yàn)完成且有不錯(cuò)的成果。機(jī)械所在電解拋光高度潔凈表面研究方面，則從制程和步驟著手，包括前處理溶液清洗、堿洗除油、酸洗除銹、電解液潔凈和控制、后處理化學(xué)清洗，以及在無(wú)塵室進(jìn)行超化學(xué)液配方、溫度、操作時(shí)間、角度等研究。 電解拋光效益（創(chuàng)造產(chǎn)值）： (1) 為一具備機(jī)械、電控、熱流、材料化工高度整合性技術(shù)。 (2) 1999年時(shí)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體業(yè)者需求與EP有關(guān)之閥件、管配件等零組件消耗品總金額為67.5億，其中EP技術(shù)產(chǎn)生價(jià)值約占22

56、%，總值約為15億。 5 化學(xué)機(jī)械拋光（Chemical Mechamical Polishing，簡(jiǎn)稱CMP） CMP是將工件壓在旋轉(zhuǎn)之彈性襯墊（研磨墊）上，利用相對(duì)運(yùn)動(dòng)加工之拋光技術(shù)。將具有腐蝕性之加工液供給到工件上，當(dāng)工件進(jìn)行腐蝕加工（化學(xué)性）時(shí)，同時(shí)供給超微磨粒（直徑100奈米以下）拋光（機(jī)械性）材料，對(duì)工件之凸部進(jìn)行選擇性的拋光操作，故稱機(jī)（械）化學(xué)拋光或化學(xué)機(jī)械拋光。 在LSI往微細(xì)、高積體化發(fā)展之同時(shí)，形成于硅表面之裝置構(gòu)造也有多層化，其表面凹凸變大之傾向。為了實(shí)現(xiàn)多層化裝置之配線的高信賴性、高成功率，在裝置制造之過(guò)程中，每一層表面之凹凸必須很平坦化（Planarizati

57、on）。 在硅芯片上所形成內(nèi)部配線之突出氧化膜部分，利用包含超磨粒拋光材之拋光襯墊進(jìn)行拋光加工后，便會(huì)逐漸平坦。 化學(xué)機(jī)械研磨（CMP）技術(shù)因其擁有全面平坦化（Global Planarization）的優(yōu)勢(shì)，因此在近年來(lái)成為各大IC相關(guān)產(chǎn)業(yè)競(jìng)相研發(fā)之技術(shù)。 傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)以Spin On Glass（SOG）和Resist Etchback（REB）技術(shù)為主但在0.25μm以下IC制程SOG及REB技術(shù)并無(wú)法達(dá)到全面平坦化（Global Planarization）的目標(biāo)，因此極需尋找新平坦化技術(shù)，化學(xué)機(jī)械研磨技術(shù)經(jīng)由IBM及Intel等公司積極研發(fā)，在近年來(lái)已成為全面平坦化的新興技

58、術(shù)。它不僅可以達(dá)成全面平坦化的目標(biāo)，同時(shí)可增加組件設(shè)計(jì)的多樣性，如可將銅及鎢納入新組件設(shè)計(jì)中且可減少乃各IC平坦化技術(shù)之比較，由可看出CMP在全面平坦化技術(shù)的優(yōu)勢(shì)。 說(shuō)明集成電路不同制程的平坦化能力。以集成電路產(chǎn)品16M（百萬(wàn)）DRAM的晶方邊長(zhǎng)在拾厘米以上，因此理想的平坦化距離也需要拾厘米以上長(zhǎng)度，在制程上最早應(yīng)用的硼磷玻璃回填（BPSG Reflow）平坦化技術(shù)，除了高溫限制在金屬化前的使用外，平坦化距離僅能適合數(shù)微米長(zhǎng)。旋涂玻璃(Spin on Glass)是二層金屬聯(lián)機(jī)制程最常使用的平坦化技術(shù)，其平坦化距離僅及10微米長(zhǎng)。以沉積／蝕刻交替及電子回旋電漿（ECR）沈積薄膜非常適合深次微

59、米制程中的填隙，如搭配化學(xué)機(jī)械研磨（Chemical Mechanical Polishing）則可完全應(yīng)用在多層聯(lián)機(jī)的制造，以阻劑填平后蝕刻（Resist Etch Back）的平坦化技術(shù)，因沒有涂布玻璃材質(zhì)的吸水性及有機(jī)物揮發(fā)等問(wèn)題，故為美、日的主要集成電路制造商在高可靠度產(chǎn)品應(yīng)用的平坦化技術(shù)。由于阻劑填平的平坦化間距僅及百微米范圍，及綜合圖(八)的比較，化學(xué)機(jī)械研磨就成為全面平坦化的最佳選擇。 0.25μm以下制程不可或缺之平坦化設(shè)備，化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)在中科院主導(dǎo)及相關(guān)業(yè)者之協(xié)又合作F商品化研磨機(jī)已進(jìn)入市場(chǎng)。以二氧化硅為主要成分的絕緣介質(zhì)在CMP所使用的研磨劑目前Cabot公司所制造之研

60、磨液系列產(chǎn)品為多數(shù)廠商所接受。Cabot公司能占有研磨液，大部份市場(chǎng)乃因其能自行制造之高純度且穩(wěn)定性佳Sio2粉末。同時(shí)Cabot公司擁有研磨液所需發(fā)展之技術(shù)即研磨粉末制造技術(shù)，研磨粉末分散技術(shù)及研磨液配方投術(shù)。 研磨液乃是用來(lái)研磨二氧化硅介電層，BPSG介電層、淺溝隔絕層（Shallow Trench Isolation）及Polysillicon薄膜層之研磨液。研磨液一般包含下列組成SiO2研磨粉末（平均粒徑根據(jù)不同配方約在100nm左右），固含量約10~30%，PH值約在9.0~11.0（由KOH或NH4OH調(diào)整），以及去離子水約70%。 以介電薄膜研磨所使用之SiO2研磨液為例，在

61、PH值固定時(shí)，當(dāng)研磨液的SiO2研磨粉末之含量或粒徑大小增加時(shí)，其研磨速率亦相對(duì)增加，然而若其增加比例過(guò)高，亦會(huì)刮傷薄膜表面。當(dāng)PH值增加時(shí)，研磨速率亦會(huì)隨之增加，然而額外之化學(xué)反應(yīng)亦會(huì)提高，因而降低研磨薄膜之平坦度。 而CMP技術(shù)所使用之研磨墊－PU Pad，大體來(lái)說(shuō)有兩種功能，一是研磨墊之孔隙度可協(xié)助研磨液于研磨過(guò)程輸送到不同區(qū)域，另一種功能乃是協(xié)助將芯片表面之研磨產(chǎn)物移去。研磨墊之機(jī)械性質(zhì)會(huì)影響到薄膜表面之平坦度及均勻度，因此控制其結(jié)構(gòu)及機(jī)械性質(zhì)是十分重要的。 研磨墊則是研磨劑外的另一個(gè)重要消耗材，由于集成電路制程的目的是平坦化，異于傳統(tǒng)光學(xué)玻璃與硅晶圓的拋光作用。平坦化的作用即要將

62、晶圓表面輪廓凸出部份削平，達(dá)到全面平坦化。理想的研磨墊是觸及凸出面而不觸及凹面，達(dá)到迅速平坦化的效果。就研磨墊的應(yīng)用言，其材料的化性需求較為單純，一般僅具備耐酸堿，持久穩(wěn)定即可。但在物性條件則相當(dāng)復(fù)雜。Rodel 的研磨墊Suba系列產(chǎn)品為美國(guó)Sematech等所評(píng)定，適合CMP制程應(yīng)用。此Suba系列的材質(zhì)為Polyurethane Impregnated Polyster Felts。上述的PU材料，具多孔性及一定的硬度。研磨墊的壓縮性差異，形成不同的垂直與水平變形，軟性的研磨墊，因變形而容易觸及凹面，形成平坦度較差的現(xiàn)象。Rodel另一系列的IC(品名)產(chǎn)品，具較低壓縮性，較高硬度的研磨

63、墊，可以有效提升平坦度的效果，但其均勻度的控制則變差了。使用IC 1000/Suba IV的組合墊則兼顧了平坦度與均勻度的效果，也就成為今日對(duì)氧化硅薄膜在CMP制程的主要研磨墊。穩(wěn)定的制程除了選擇適當(dāng)?shù)难心|外，適當(dāng)?shù)谋ｐB(yǎng)則是必要的過(guò)程。在研磨過(guò)程中，研磨墊表面材質(zhì)也會(huì)耗損，變形。另外表面堆積的反應(yīng)物也需妥當(dāng)?shù)呐懦?。因此在使用中，如無(wú)適當(dāng)?shù)奶幚?，研磨墊表面將呈現(xiàn)快速老化，造成蝕刻率衰退等現(xiàn)象。為了解決研磨墊的老化問(wèn)題，現(xiàn)代的CMP機(jī)臺(tái)都具備『研磨墊整理器』，具備與研磨過(guò)程同步整理或定時(shí)整理的功能。 化學(xué)機(jī)械研磨制程控制 RR=Kp．P．V 其中RR為蝕刻率，P為晶圓上的施加壓力，而V為

64、相對(duì)線性速率。Kp則稱為Preston常數(shù)，此簡(jiǎn)單的Preston方程式說(shuō)明蝕刻率與壓力、線性速度成正比關(guān)系外，其它物性、化性及機(jī)械參數(shù)及特性都隱藏在Preston常數(shù)內(nèi)。在良好的機(jī)臺(tái)參數(shù)控制下，一般氧化層膜的制程控制范圍都可適用Preston方程式。典型的例子如圖十所示。由可以看出氧化硅膜的蝕刻率與施加壓力呈正比的線性關(guān)系，另外在不同設(shè)定的轉(zhuǎn)速下亦都呈現(xiàn)正比的線性關(guān)系，其斜率則隨著轉(zhuǎn)速而增加。即在固定的施壓下，蝕刻率與平臺(tái)轉(zhuǎn)速的關(guān)系。一般實(shí)驗(yàn)結(jié)果可以得到線性但非正比關(guān)系。 6 制程中電解削銳(Electrolytic In-Process Dressing，簡(jiǎn)稱ELID研磨) 電子零件等

65、功能材料之進(jìn)步是有目共睹的，但對(duì)于各種素材零件之加工精度要求則是愈來(lái)愈嚴(yán)格。其加工技巧之磨料加工技術(shù)的研磨、拋光方面，對(duì)于高效率、高精度、高品位、超精密、自動(dòng)化等之期望也很高，滿足其要求的加工技術(shù)之一為ELID研磨法。 ELID研磨法為金屬結(jié)合砂輪的削銳方法之一，利用電氣化學(xué)作用所產(chǎn)生之電解溶出現(xiàn)象，在研磨加工中也可以連續(xù)地進(jìn)行削銳 (a)為砂輪剛削正后之狀態(tài)。 (b)為在研磨加工之前僅實(shí)施削銳操作，利用電解方式，使砂輪之結(jié)合劑溶解的狀態(tài)。 (c)為隨著電解之進(jìn)行，不導(dǎo)電薄膜產(chǎn)生，結(jié)合劑之溶解被抑制。 (d)是由于加工之進(jìn)行，磨料發(fā)生磨耗，不導(dǎo)電薄膜也被剝離之狀態(tài)。 (e)是不導(dǎo)電

66、薄膜變薄，導(dǎo)電性回復(fù)，結(jié)合劑之溶解再度開始，而露出磨粒。 由于這些作用之反復(fù)進(jìn)行，使砂輪可以保持良好的銳利度。 利用ELID鉆石磨輪研磨直徑300-400mm之硅晶圓，可獲得所期望的表面粗度與平坦度(flatness)其研磨結(jié)果則視電流、電壓、磨輪轉(zhuǎn)速、材質(zhì)、磨粒粗細(xì)、進(jìn)給率及工作臺(tái)轉(zhuǎn)速而決定。 通常磨輪之磨粒越細(xì)，則研制工件之表面粗度越好，然而磨輪表面越容易被切屑(Chip)堵塞而變成不銳利，因此必需定時(shí)停機(jī)清理削銳，如此一來(lái)就造成加工不方便及損失，因此Ohmori提供ELID研磨法，使得在研磨過(guò)程中，經(jīng)常保持磨輪在銳利狀態(tài)，因即可獲得穩(wěn)定又理想之工件表面粗度。 利用AFM(Atomic Force Micro Scope 電子力顯微鏡)、SEM(Scanning Electron Micro Scope 掃描電子顯微鏡)及HRTEM(High Resolution Transmission Electron Micro Scope 高分辨率穿透式電子顯微鏡)在不同加工參數(shù)條件下所得到之硅芯片表面狀況之相片。 由于磨輪進(jìn)給率不同，