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大規(guī)模集成電路基炊微電子學(xué)概論

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1、北京大學(xué) 大規(guī)模集成電路基礎(chǔ) 3 1半導(dǎo)體集成電路概述集成電路 IntegratedCircuit IC 芯片 Chip Die 硅片 Wafer 集成電路的成品率成品率的檢測決定工藝的穩(wěn)定性成品率對集成電路廠家很重要集成電路發(fā)展的原動力不斷提高的性能價格比集成電路發(fā)展的特點性能提高價格降低集成電路的性能指標(biāo) 集成度速度功耗特征尺寸可靠性主要途徑縮小器件的特征尺寸增大硅。

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